SP60P-L操作手册.pdf - 第43页
SP 80/SP 60 参考手册 1.7 基板吸 着盒 Page 1-43 1.7. 4 盒设计示例 盒设计示例 盒设计示例 盒设计示例 ( 前侧基准、后侧基准共用 前侧基准、后侧基准共用 前侧基准、后侧基准共用 前侧基准、后侧基准共用 ) 类型 A 1B4C-057C 1E3C-C- RMA01- A05-00
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
Page 1-42
1.7.3
基本尺寸
基本尺寸基本尺寸
基本尺寸
(
后侧基准
后侧基准后侧基准
后侧基准
:
选购件
选购件选购件
选购件
)
1B4C-056C
1E3C-C-RMA01-A05-00
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
Page 1-43
1.7.4
盒设计示例
盒设计示例盒设计示例
盒设计示例
(
前侧基准、后侧基准共用
前侧基准、后侧基准共用前侧基准、后侧基准共用
前侧基准、后侧基准共用
)
类型
A
1B4C-057C
1E3C-C-RMA01-A05-00
SP80/SP60
参考手册
1.7 基板吸着盒
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1.7.5
顶板设计示例
顶板设计示例顶板设计示例
顶板设计示例
(
前侧基准
前侧基准前侧基准
前侧基准
)
设计条件
1) 基板尺寸: L408 mm
×
W182 mm
2) 基板流向: 左
→
右流向
3) 基板定位基准: 前侧基准、中心基准
4) 使用盒类型: 类型 A
1B4C-059C
1E3C-C-RMA01-A05-00