SP60P-L操作手册.pdf - 第48页

SP 80/SP 60 参考手册 1.7 基板吸 着盒 Page 1-48 1.7. 9 Z- 板平面图 板平面图 板平面图 板平面图  M/MU 尺寸 ( 前侧基准 ) 1D3C-921C 1E3C-C- RMA01- A05-00

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参考手册
1.7 基板吸着盒
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1.7.8
后侧基准逆流设计示例
后侧基准逆流设计示例后侧基准逆流设计示例
后侧基准逆流设计示例
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板平面图
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M/MU 尺寸 (前侧基准)
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L 尺寸
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