SP60P-L操作手册.pdf - 第6页
SP 80/SP 60 参考手册 1.1 各部的名称和功能 Page 1-6 主要装置 ( 正视图 3/4) No. 装置名称 功能 数量 基板上压紧装置 1D3C-X039MA 有基板夹具时，压着基板，防 止基板浮 起。 1 搬送传送带 ( 左·右 ) 1D3C-X039K 进行从前工序搬入基板和向后 工序搬出 基板的操作。 1 1D3C-BA 1 2 1E3C-C- RMA01- A01-00
SP80/SP60
参考手册
1.1 各部的名称和功能
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主要装置
(
正视图
2/4)
No.
装置名称 功能 数量
XY 工作台
1D3C-X039C
进行基板定位升降机部的移动。
1
基板定位升降机
1D3C-181CC0
进行基板的定位及版分离的控制。
1
1E3C-C-RMA01-A01-00
1D3C-AQ
2
1
SP80/SP60
参考手册
1.1 各部的名称和功能
Page 1-6
主要装置
(
正视图
3/4)
No.
装置名称 功能 数量
基板上压紧装置
1D3C-X039MA
有基板夹具时，压着基板，防止基板浮
起。
1
搬送传送带 (左·右)
1D3C-X039K
进行从前工序搬入基板和向后工序搬出
基板的操作。
1
1D3C-BA
1
2
1E3C-C-RMA01-A01-00
SP80/SP60
参考手册
1.1 各部的名称和功能
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主要装置
(
正视图
4/4)
No.
装置名称 功能 数量
基板支撑区块
1D3C-102XC0
进行基板的支撑。
1
网板清扫装置
1D3C-AL
1D3C-AM
1D3C-AN
1D3C-AP
进行网板背面的清扫。
1
1E3C-C-RMA01-A01-00
1D3C-BA
1
2