SP60P-L操作手册.pdf - 第49页

SP 80/SP 60 参考手册 1.7 基板吸 着盒 Page 1-49  L 尺寸 1D3C-922C 1E3C-C- RMA01- A05-00

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参考手册
1.7 基板吸着盒
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1.7.9 Z-
板平面图
板平面图板平面图
板平面图
M/MU 尺寸 (前侧基准)
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= 备忘录 =
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