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VM 102 20 23.0 721 - 101 - ( 单位 : mm) Remarks • 上述示图的缩小比例与 实际机器在严 格上讲,并不完全 一致。 在研讨生产线构成和尺 寸时,请另行 索取资料。 • 本机下部如有设置通风 道等时,请确 保与主体间空隙 保持 40 m m 以上。 编带供 料器规 格 ( 固定供 给部 x2 ) 前 侧 卷 盘 支架 卷 盘 支架 卷 盘 支架 1 055 954 1 004 基板传送…

VM102 2023.0721
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13.
尺寸图
(
单位
: mm)
Remarks
• 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲,并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时,请另行索取资料。
• 本机下部如有设置通风道等时,请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
托盘供料器规格
(固定供给部
+
托盘供料器)
托盘供料器规格
(交换台车
+
托盘供料器)
5.3
5.3
2 000
1 500
1 515 (传送带长度)
1 504.4 (罩外形)
900
(基板传送基准)
前 侧
卷盘支架
交换台车
托盘供料器
1 055
954
1 004
基板传送基准
300
255
1 958
2 513
1 209
1 304
前 侧
Air
电源
2 372
卷盘支架
1 068
1 304
207
100
1 055
954
1 004
基板传送基准
300
114
1 958
卷盘支架
托盘供料器
108
318

VM102 2023.0721
- 101 -
(
单位
: mm)
Remarks
• 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲,并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时,请另行索取资料。
• 本机下部如有设置通风道等时,请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
编带供料器规格
(固定供给部
x2
)
前 侧
卷盘支架
卷盘支架
卷盘支架
1 055
954
1 004
基板传送基准
300
1 958
2 258
954
1 304
编带供料器规格
(交换台车
x2
)
前 侧
卷盘支架
交换台车
1 055
954
1 004
基板传送基准
300
1 958
2 352
1 048
1 304
交换台车
94

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- 102 -
■
调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
前 侧
AIR
0.5 MPa ~ 0.8 MPa
コンベヤー基準面
電源
1 080
1 318
90
90
1 058
860.5
265
335
1 081
1 680
819.5
基板传送基准
1 498
220
220
电源