SJSF115900-16_S20_v2016.pdf - 第112页
118 32. 基板反り検出機能 S20 (SJSF115900-16) v2.016 32. 基板反り検出機能 32.1 適用範囲 32.2 装置仕様 32.2.1 適用対象 32.2.2 取付（レーザーヘッド） レーザー取付位置 R レーザー…
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31. UPS
S20 (SJSF115900-16) v2.016
31.7 停電検出機能
31.8 UPS バックアップ終了制御
注 1)：バッテリー残量に余裕があるときは、2 分以内にマニュアルシャットダウンを行ってください。
バッテリー残量が無くなると強制シャットダウンに移行します。
（ファイル保存が未終了もあり得ます）。
注 2)：バックアップ運転中に UPS のバッテリーがなくなりますと、UPS から ” ピー ” という連続音が発生し、
電源供給が止まります。その場合は、メインインスイッチを一度落とし、AC の給電が回復してから、
メインスイッチを入れてください。
31.9 交換用バッテリー仕様
31.10 UPS バッテリーの購入について
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32. 基板反り検出機能
S20 (SJSF115900-16) v2.016
32. 基板反り検出機能
32.1 適用範囲
32.2 装置仕様
32.2.1 適用対象
32.2.2 取付（レーザーヘッド）
レーザー取付位置 R
レーザー取付位置 L
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32. 基板反り検出機能
S20 (SJSF115900-16) v2.016
32.2.3 測定対象 (1)
※ 1 S10/S20 装置仕様による、搬送可能基板厚さを示します。
※ 2 対象基板の反りおよび凹凸を含め、測定対象高さは上記範囲内である必要があります。
※ 3 対象物の材質、形状によって、測定できない場合や誤差を生じる場合があります。下記括弧内参照。
（透明な材質、反射率の低い材質、曲率及び傾斜の大きい形状、レーザースポット径より小さな対象物）
※ 4 上記外にも測定可能な対象物はあります。別途ご相談ください。
※ 5 内層にパターン等を有している表面の場合、約 50 μ m 程度の測定誤差が出る場合があります。
■測定高さ図例（反り測定許容範囲）
搬送ベルト
上反り高さ 6.3mm 以下（搬送ベルト上面より）
搬送ベルト
下反り高さ 1.3mm 以下
（搬送ベルト上面より）
■測定高さ図例（凹凸測定許容範囲）
搬送面より 1.3mm を下回る対象物は測定不可
搬送ベルト上面
搬送面より 6.3mm を超える対象物は測定不可
6.3mm
1.3mm