SJSF115900-16_S20_v2016.pdf - 第116页
122 33. コプラナリティチェッカー S20 (SJSF115900-16) v2.016 33. コプラナリティチェッカー 33.1 概要 33.2 仕様 33.2.1 コプラナリティチェック精度 33.2.2 測定時間 …

121
32. 基板反り検出機能
S20 (SJSF115900-16) v2.016
32.2.5 基本仕様
※1 弊社評価基板(レジスト面)にて計測
※ 2 弊社最適条件下による

122
33. コプラナリティチェッカー
S20 (SJSF115900-16) v2.016
33. コプラナリティチェッカー
33.1 概要
33.2 仕様
33.2.1 コプラナリティチェック精度
33.2.2 測定時間
33.2.3 対応部品
その他

123
33. コプラナリティチェッカー
S20 (SJSF115900-16) v2.016
33.3 対象機種とレーザーセンサ撮り付け位置
※ コプラナリティーチェッカー取付時には、リヤカメラ設置を推奨します。
S10 レーザーセンサ取り付け位置