SJSF115900-16_S20_v2016.pdf - 第88页

94 27. マルチスティックフィーダ F3-MSF S20 (SJSF115900-16) v2.016 例 15 F3-8 F3-24 F3-88 吸着位置 45 （3 ピッチ） （7 ピッチ） 105 27.11 標準付属品リスト                 …

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27.　マルチスティックフィーダ　F3-MSF
S20 (SJSF115900-16)　v2.016
27.10 隣接フィーダステーション間隔（15mm ピッチ）
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27.　マルチスティックフィーダ　F3-MSF
S20 (SJSF115900-16)　v2.016
例
15
F3-8 F3-24 F3-88
吸着位置
45
（3 ピッチ） （7 ピッチ）
105
27.11 標準付属品リスト
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28.　フラックスステーション
S20 (SJSF115900-16)　v2.016
28.　フラックスステーション
28.1 適用範囲
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28.2 外観図
28.2.2 RFS-2　(F3 フィーダバンク用 )
スキージアーム
ステーション
平行出し調整ネジ
スキージ固定ネジ
スキージ
転写テーブル
膜厚設定つまみ
膜厚ゲージ
マニュアルスイッチ
28.3 使用上の注意
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28.4 環境条件
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