SJSF115900-16_S20_v2016.pdf - 第89页

95 28. フラックスステーション S20 (SJSF115900-16) v2.016 28. フラックスステーション 28.1 適用範囲  28.2 外観図 28.2.2 RFS-2 (F3 フィーダバンク用 ) スキージアーム ステーション 平行出し調整ネジ スキージ固定ネジ スキージ 転写テーブル 膜厚設定つまみ 膜厚ゲージ マニュアルスイッチ 28.3 使用上の注…

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27.　マルチスティックフィーダ　F3-MSF
S20 (SJSF115900-16)　v2.016
例
15
F3-8 F3-24 F3-88
吸着位置
45
（3 ピッチ） （7 ピッチ）
105
27.11 標準付属品リスト
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28.　フラックスステーション
S20 (SJSF115900-16)　v2.016
28.　フラックスステーション
28.1 適用範囲

28.2 外観図
28.2.2 RFS-2　(F3 フィーダバンク用 )
スキージアーム
ステーション
平行出し調整ネジ
スキージ固定ネジ
スキージ
転写テーブル
膜厚設定つまみ
膜厚ゲージ
マニュアルスイッチ
28.3 使用上の注意
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28.4 環境条件
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28.　フラックスステーション
S20 (SJSF115900-16)　v2.016
28.5 構成
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28.6 装置仕様
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28.7 アクセサリ
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