SJSF115900-16_S20_v2016.pdf - 第115页

121 32. 基板反り検出機能 S20 (SJSF115900-16) v2.016 32.2.5 基本仕様         󰒙          …

120

32.　基板反り検出機能

S20 (SJSF115900-16)　v2.016

32.2.4 測定対象 (2)- 狭い溝や凹部での測定



■レーザー取付位置 R、L

35°

前側後側

 

※１　下記、条件を満たしていればよい

 　Z⁄X<tan55°≒1.42

※２　下図の場合、測定不可となる

 

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32.　基板反り検出機能

S20 (SJSF115900-16)　v2.016

32.2.5 基本仕様

   

 

  󰒙

 

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  



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

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

※１　弊社評価基板（レジスト面）にて計測

※ 2　弊社最適条件下による

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33.　コプラナリティチェッカー

S20 (SJSF115900-16)　v2.016

33.　コプラナリティチェッカー

33.1 概要



33.2 仕様

33.2.1 コプラナリティチェック精度



 



33.2.2 測定時間



  

      

      

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      

33.2.3 対応部品

   

 

その他







 