SJSF115900-16_S20_v2016.pdf - 第90页

96 28. フラックスステーション S20 (SJSF115900-16) v2.016 28.5 構成   28.6 装置仕様             󰒲  󰒲  …

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28.　フラックスステーション
S20 (SJSF115900-16)　v2.016
28.　フラックスステーション
28.1 適用範囲
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28.2 外観図
28.2.2 RFS-2　(F3 フィーダバンク用 )
スキージアーム
ステーション
平行出し調整ネジ
スキージ固定ネジ
スキージ
転写テーブル
膜厚設定つまみ
膜厚ゲージ
マニュアルスイッチ
28.3 使用上の注意
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28.4 環境条件
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28.　フラックスステーション
S20 (SJSF115900-16)　v2.016
28.5 構成

28.6 装置仕様
  
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28.7 アクセサリ
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29.　トレーサビリティ機能
S20 (SJSF115900-16)　v2.016
29.　トレーサビリティ機能
29.1 機能概要
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29.1.1 対象機種・ソフトウエア
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