NPM操作.pdf - 第20页

三、 NPM 与 CM 系列变化点

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各部的名称(二)
三、NPMCM系列变化点
NPMCM602差异
NPM
CM602
比較
:
項目
NPM CM602
基板尺寸
轨传 单轨传
单轨
50mm
350mm
×
460mm
50mm
510mm
×
460mm
50mm
350mm
×
216mm 240mm
以下(第
1,2
基板位置)
料架数
/
台車
17
(8MM) 27
(8MM)
Head 16 Nozzle NPM
專用
(
θ馬達×
2,
流量
sensor)
Head 12 Nozzle NPM
專用
(
θ馬達×
2,
流量
sensor) CM
專用
(
θ馬達×
1,
真空
sensor)
Head 8 Nozzle NPM
專用
(
θ馬達×
2,
流量
sensor) CM
專用
(
θ馬達×
1,
真空
sensor)
Head 3 Nozzle
CM
專用
(
真空
sensor)
Head 2 Nozzle NPM
專用
(
流量
sensor)
Holder Unit NPM
專用
(
有濾網
) CM
專用
Feeder Type
共用
Nozzle
共用