JML1179200_YS100_Mainte_J.pdf - 第34页

総目次はじめに  1. 各章の内容 i  2. メンテナンス項目一覧 ii 第 1 章 メンテナンスについて  1. マシンの性能を維持するためには 1-1 1.1 必須条件および環境条件 …………………………………………………… 1-1 1.2 定期的な点検と清掃の重要性 ……………………………………………… 1-2  2. メンテナンス作業の準備 1-3 2.1 消耗品と交換部品 ( 故障時 )…

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■ ヘッド部

■ カメラユニット

■ コントローラ上面

■ コントローラ正面パネル部

■ コントローラ部

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総目次

はじめに

 1. 各章の内容 i

 2. メンテナンス項目一覧 ii

第 1 章 メンテナンスについて

 1. マシンの性能を維持するためには 1-1

1.1 必須条件および環境条件 …………………………………………………… 1-1

1.2 定期的な点検と清掃の重要性 ……………………………………………… 1-2

 2. メンテナンス作業の準備 1-3

2.1 消耗品と交換部品 ( 故障時 )………………………………………………… 1-3

2.1.1 消耗品 ………………………………………………………………………………1-3

2.1.2 ノズル ………………………………………………………………………………1-6

2.1.3 交換部品 ( 故障時 ) ………………………………………………………………………1-9

2.2 メンテナンスツール ……………………………………………………… 1-10

2.2.1 クリーニングツール …………………………………………………………………… 1-10

2.2.2 給油ツール・グリス …………………………………………………………………… 1-12

2.2.3 スペシャルツール ……………………………………………………………………… 1-14

2.3 必要工具 …………………………………………………………………… 1-15

第 2 章 日常行っていただきたい項目

 作業の前に 2-1

 1. ノズル状態の確認 2-2

1.1 ソフトウェアで確認する …………………………………………………… 2-2

1.1.1 ノズル開放時の真空レベル ………………………………………………………………2-4

1.2 目視で確認する ……………………………………………………………… 2-5

 2. フィーダープレートの清掃 2-6

 3. マルチカメラ照明保護ガラスの清掃 2-7

第 3 章 定期的に行っていただきたい項目

 1. 毎週 3-1

1.1 ノズルの点検と清掃 ………………………………………………………… 3-1

1.1.1 ノズルバフィング部の点検と清掃 ………………………………………………………3-1

1.1.2 ノズル板バネの確認 ………………………………………………………………………3-3

1.1.3 ノズル先端部の清掃 ………………………………………………………………………3-4

1.2 グリッパーノズル ( オプション ) の清掃と給油 ………………………… 3-6

1.2.1 グリッパーノズルの点検 …………………………………………………………………3-6

1.2.2 グリッパーノズルの清掃と給油 …………………………………………………………3-6

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1.3 コンベアセンサーの状態と動作確認 ……………………………………… 3-8

1.4 基板クランプの状態と動作確認 ………………………………………… 3-10

1.4.1 基板クランプ状態の確認 ……………………………………………………………… 3-10

1.4.2 基板クランプ動作の確認 ……………………………………………………………… 3-10

 2. 毎月 3-11

2.1 ノズルエア経路の清掃 …………………………………………………… 3-11

2.2 FNC ノズルの清掃………………………………………………………… 3-12

2.2.1 FNC ノズル ASSY の取り外し ……………………………………………………… 3-12

2.2.2 FNC ノズル ASSY の分解清掃 ……………………………………………………… 3-14

2.2.3 FNC ロケートピンの清掃 …………………………………………………………… 3-18

2.2.4 FNC ノズル ASSY の取り付け ……………………………………………………… 3-19

2.3 各軸のボールスクリューおよびガイドの点検 ………………………… 3-22

 3. 2 カ月 3-23

3.1 X、Y 軸の清掃と給油 …………………………………………………… 3-23

3.1.1 X、Y 軸ボールスクリューの清掃と給油 …………………………………………… 3-23

3.1.2 X、Y 軸ガイドの清掃と給油 ………………………………………………………… 3-25

3.2 プッシュアップ軸 (PU 軸 ) の清掃と給油 ……………………………… 3-26

3.3 基板搬送部の点検 ………………………………………………………… 3-28

3.3.1 コンベアベルトの点検と清掃 ………………………………………………………… 3-28

 4. 3 カ月 3-32

4.1 エジェクターフィルターの清掃と交換 ………………………………… 3-32

4.2 エジェクター真空圧力の点検 …………………………………………… 3-33

4.3 各ヘッドのブローバルブと清掃用ブローバルブの動作確認 ………… 3-34

4.4 スプラインシャフト内の清掃 …………………………………………… 3-36

4.4.1 スプラインシャフト内の洗浄 ………………………………………………………… 3-36

4.4.2 負圧状態の確認 ………………………………………………………………………… 3-38

4.5 スプラインシャフトの動作確認 ………………………………………… 3-39

4.5.1 スプラインシャフト Z 軸動作の確認 ……………………………………………… 3-39

4.5.2 スプラインシャフト周辺の確認と清掃 ……………………………………………… 3-40

4.5.3 スプラインシャフトの給油 ( 必要時のみ実施 ) …………………………………… 3-41

4.6 エア・オイルミストフィルターの点検と交換 ………………………… 3-43

 5. 6 カ月 3-45

5.1 フィデューシャルカメラの清掃 ………………………………………… 3-45

5.2 W 軸の清掃と給油………………………………………………………… 3-46

5.3 サイドビューカメラの清掃 ( オプション )……………………………… 3-48

 6. 1 年 3-49

6.1 ブローステーションフィルターの清掃と交換 ………………………… 3-49

6.2 ノズルステーションセンサーの状態確認 ( オプション )……………… 3-50