JML1179200_YS100_Mainte_J.pdf - 第71页
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2
3.マルチカメラ照明保護ガラスの清掃
マルチカメラの照明保護ガラスにホコリなどが付着していると、部品認識エラーの原因になることがあります。
これを防ぐために定期的に点検、清掃することをお勧めします。
e
1
照明保護ガラス上のホコリを払います。
1. 非常停止ボタンを押して、マシンの安全カバー
を開けます。
2. ブロアーブラシで照明保護ガラス上のホコリ
を払います。
51203-L1-10
参考
ブロアーブラシはオプション購入品となります。
2
ウエスまたはクリーニングペーパーで
保護ガラスを拭きます。
ホコリの出ないウエスまたはクリーニングペー
パーにレンズクリーナーを数滴付けて保護ガラス
を拭いてください。
51204-L1-00
n
要点
レンズクリーナー、クリーニングペーパーはオプション購
入品となります。
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注意
レンズクリーナー以外の溶剤 (IPA、アセトン等 ) は使用し
ないでください。
ブロアーブラシでホコリを払う
Step 1
ブロアーブラシ
ウエスで保護ガラスを拭く
Step 2
ホコリの出ないウエス
第3章
定期的に行っていただきたい項目
目次
1. 毎週 3-1
1.1 ノズルの点検と清掃 3-1
1.1.1 ノズルバフィング部の点検と清掃 3-1
1.1.2 ノズル板バネの確認 3-3
1.1.3 ノズル先端部の清掃 3-4
1.2 グリッパーノズル ( オプション ) の清掃と給油 3-6
1.2.1 グリッパーノズルの点検 3-6
1.2.2 グリッパーノズルの清掃と給油 3-6
1.3 コンベアセンサーの状態と動作確認 3-8
1.4 基板クランプの状態と動作確認 3-10
1.4.1 基板クランプ状態の確認 3-10
1.4.2 基板クランプ動作の確認 3-10
2. 毎月 3-11
2.1 ノズルエア経路の清掃 3-11
2.2 FNC ノズルの清掃 3-12
2.2.1 FNC ノズル ASSY の取り外し 3-12
2.2.2 FNC ノズル ASSY の分解清掃 3-14
2.2.3 FNC ロケートピンの清掃 3-18
2.2.4 FNC ノズル ASSY の取り付け 3-19
2.3 各軸のボールスクリューおよびガイドの点検 3-22
3. 2 カ月 3-23
3.1 X、Y 軸の清掃と給油 3-23
3.1.1 X、Y 軸ボールスクリューの清掃と給油 3-23
3.1.2 X、Y 軸ガイドの清掃と給油 3-25
3.2 プッシュアップ軸 (PU 軸 ) の清掃と給油 3-26
3.3 基板搬送部の点検 3-28
3.3.1 コンベアベルトの点検と清掃 3-28
4. 3 カ月 3-32
4.1 エジェクターフィルターの清掃と交換 3-32
4.2 エジェクター真空圧力の点検 3-33
4.3 各ヘッドのブローバルブと清掃用ブローバルブの動作確認3-34
4.4 スプラインシャフト内の清掃 3-36
4.4.1 スプラインシャフト内の洗浄 3-36
4.4.2 負圧状態の確認 3-38