JML1179200_YS100_Mainte_J.pdf - 第74页
3-1 3 1. 毎週 ここでは毎週行う点検、清掃を中心に説明します。 1.1 ノズルの点検と清掃 バフィング動作 ( スプリング動作 ) やノズル板バネの不良は吸着エラーの原因となります。これを防ぐために各 ノズルの点検を行ってください。 1.1.1 ノズルバフィング部の点検と清掃 ■バフィング状態の確認 ノズルのバフィング状態を確認してください。押してみて正常に戻れば問題ありませんが、戻りが悪いと吸着 エラーや認識エラー…
4.5 スプラインシャフトの動作確認 3-39
4.5.1 スプラインシャフト Z 軸動作の確認 3-39
4.5.2 スプラインシャフト周辺の確認と清掃 3-40
4.5.3 スプラインシャフトの給油 ( 必要時のみ実施 ) 3-41
4.6 エア・オイルミストフィルターの点検と交換 3-43
5. 6 カ月 3-45
5.1 フィデューシャルカメラの清掃 3-45
5.2 W 軸の清掃と給油 3-46
5.3 サイドビューカメラの清掃 ( オプション ) 3-48
6. 1 年 3-49
6.1 ブローステーションフィルターの清掃と交換 3-49
6.2 ノズルステーションセンサーの状態確認 ( オプション )3-50
3-1
3
1.毎週
ここでは毎週行う点検、清掃を中心に説明します。
1.1 ノズルの点検と清掃
バフィング動作 ( スプリング動作 ) やノズル板バネの不良は吸着エラーの原因となります。これを防ぐために各
ノズルの点検を行ってください。
1.1.1 ノズルバフィング部の点検と清掃
■バフィング状態の確認
ノズルのバフィング状態を確認してください。押してみて正常に戻れば問題ありませんが、戻りが悪いと吸着
エラーや認識エラーなどが発生します。
c
注意
ノズル先端を押して確認する際には、あまり強く押し込まないでください。1mm 程度押して戻れば問題ありません。
ノズルのバフィング状態
ノズル先端部を指で押す
元に戻る
戻りが悪い
戻らない
OK NG
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3-2
3
■バフィング部の清掃
e
1
ノズルを取り外します。
1. 非常停止ボタンを押して、マシンの安全カバー
を開けます。
2. ヘッドからノズルを取り外します。ノズルス
テーションがある場合には、[ ノズル STN
シャッター ] ボタンを押してノズルステーショ
ンのシャッターを開けて取り出します。
2
バフィング部を清掃します。
バフィング部に IPA( イソプロピルアルコール )
またはエタノールを塗布し、数回バフィング動作
を繰り返して清掃してください。清掃後は十分に
エアブローして余分な IPA またはエタノールを除
去してください。
3
バフィング部に給油します。
バフィング部に精密ドライバーなどで少量 ( しみ
込む程度 ) のタービン油を塗布してください。
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4
バフィング動作を確認します。
数回バフィング動作を繰り返して、タービン油を
なじませます。ホコリの出ないウエスを使ってノ
ズル周りの余分な油分を拭き取ります。
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5
余分な油分を除去します。
ノズル先端側から約 5 秒、ノズル取り付け側から
約 5 秒程度エアブローツール ( オプション ) でエ
アブローします。この作業を 3 回程度繰り返して
ノズル内に残った余分なタービン油を除去しま
す。
n
要点
バフィング部には皮膜程度の油分があれば十分です。
6
油分の除去状態を確認します。
任意で市販の油取り紙などを使用してノズル内の
残留油分の状態を確認してください。
n
要点
通常、Step5 の作業を行えば油分は除去されるはずです。残っ
ている場合はもう一度エアブローしてください。
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7
ノズルをヘッドに戻します。
ノズルに油分が残っていないかもう一度確認して
からヘッドに戻してください。
n
要点
ノズルステーションからノズルを取り出した場合には、取
り出した格納位置に戻してください。
バフィング部の給油
Step 3
ノズル
精密ドライバー (タービン油を少量)
バフィング部の確認
Step 4
ノズルバフィング部 (先端)
残留油分の確認
Step 6
初回ブローを先端から5秒程度行う
と油分が出ます。
先端から5秒、取り付け側から
5秒程度のブローを繰り返します。
最終的に油分が出なければ終了です。
油取り紙