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第3章 定期的に行っていただきたい項目 目次 1. 毎週 3-1 1.1 ノズルの点検と清掃 3-1 1.1.1 ノズルバフィング部の点検と清掃 3-1 1.1.2 ノズル板バネの確認 3-3 1.1.3 ノズル先端部の清掃 3-4 1.2 グリッパーノズル ( オプション ) の清掃と給油 3-6 1.2.1 グリッパーノズルの点検 3-6 1.2.2 グリッパーノズルの清掃と給油 3-6 1.3 コンベアセ…
第3章
定期的に行っていただきたい項目
目次
1. 毎週 3-1
1.1 ノズルの点検と清掃 3-1
1.1.1 ノズルバフィング部の点検と清掃 3-1
1.1.2 ノズル板バネの確認 3-3
1.1.3 ノズル先端部の清掃 3-4
1.2 グリッパーノズル ( オプション ) の清掃と給油 3-6
1.2.1 グリッパーノズルの点検 3-6
1.2.2 グリッパーノズルの清掃と給油 3-6
1.3 コンベアセンサーの状態と動作確認 3-8
1.4 基板クランプの状態と動作確認 3-10
1.4.1 基板クランプ状態の確認 3-10
1.4.2 基板クランプ動作の確認 3-10
2. 毎月 3-11
2.1 ノズルエア経路の清掃 3-11
2.2 FNC ノズルの清掃 3-12
2.2.1 FNC ノズル ASSY の取り外し 3-12
2.2.2 FNC ノズル ASSY の分解清掃 3-14
2.2.3 FNC ロケートピンの清掃 3-18
2.2.4 FNC ノズル ASSY の取り付け 3-19
2.3 各軸のボールスクリューおよびガイドの点検 3-22
3. 2 カ月 3-23
3.1 X、Y 軸の清掃と給油 3-23
3.1.1 X、Y 軸ボールスクリューの清掃と給油 3-23
3.1.2 X、Y 軸ガイドの清掃と給油 3-25
3.2 プッシュアップ軸 (PU 軸 ) の清掃と給油 3-26
3.3 基板搬送部の点検 3-28
3.3.1 コンベアベルトの点検と清掃 3-28
4. 3 カ月 3-32
4.1 エジェクターフィルターの清掃と交換 3-32
4.2 エジェクター真空圧力の点検 3-33
4.3 各ヘッドのブローバルブと清掃用ブローバルブの動作確認3-34
4.4 スプラインシャフト内の清掃 3-36
4.4.1 スプラインシャフト内の洗浄 3-36
4.4.2 負圧状態の確認 3-38
4.5 スプラインシャフトの動作確認 3-39
4.5.1 スプラインシャフト Z 軸動作の確認 3-39
4.5.2 スプラインシャフト周辺の確認と清掃 3-40
4.5.3 スプラインシャフトの給油 ( 必要時のみ実施 ) 3-41
4.6 エア・オイルミストフィルターの点検と交換 3-43
5. 6 カ月 3-45
5.1 フィデューシャルカメラの清掃 3-45
5.2 W 軸の清掃と給油 3-46
5.3 サイドビューカメラの清掃 ( オプション ) 3-48
6. 1 年 3-49
6.1 ブローステーションフィルターの清掃と交換 3-49
6.2 ノズルステーションセンサーの状態確認 ( オプション )3-50