JML1179200_YS100_Mainte_J.pdf - 第42页
iii ● : 実施 ○ : 点検結果、不具合発生の場合実行 △ : 弊社または代理店に連絡 セクション 項目 対象 点検周期 実施内容・時期 日常 毎週 毎月 3 カ月 6 カ月 以上 故障時 清掃 給油 交換 調整 その他 ブロー ステーション フィルター 1年 ● ○ ノズル ステーション (OP) ANC センサボード 1年 ● ● ○ エア・オイル ミストフィルター フィルター ● ● ○

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2.メンテナンス項目一覧
■ 点検項目一覧
● : 実施 ○ : 点検結果、不具合発生の場合実行 △ : 弊社または代理店に連絡
セクション 項目 対象
点検周期 実施内容・時期
日常 毎週 毎月 3 カ月
6 カ月
以上
故障時 清掃 給油 交換 調整
ヘッド
ユニット
ノズル
エア経路 ● ● ○
バフィング ● ○ ○ ○
吸着面先端 ● ● ○
板バネ 状態 ● ○
ノズルホルダー
エア経路 ● ●
バフィング ● ● ○
FNC ヘッド ロケートピン ● ●
FNC ノズル エア経路 ● ● ○ ○
スプラインシャフト
(Z軸)
エア経路 ● ●
状態・動作 ● ○ ○ △
エジェクター
ユニット
フィルター ● ● ○
真空圧力 (BIT) ● ● ○
バルブ ● ● ○
グリッパーノズル
(OP)
状態・動作 ● ○ ○
部品供給部
フィーダープレート 状態 ● ●
X-Y 軸部
X軸
ボールスクリュー ● ○ 2 カ月 △
ガイド ● ○ 2 カ月 △
Y軸
ボールスクリュー ● ○ 2 カ月 △
ガイド ● ○ 2 カ月 △
コンベア部
基板センサー 状態・動作 ● ● ● ○ ○
基板クランプ 状態・動作 ● ● ● △
基板搬送部 コンベアベルト 2 カ月 ● ● ○ ○
プッシュアップ
ボールスクリュー ● ● ○ 2 カ月 △
ボールガイド ● ● ○ 2 カ月 △
W軸
ボールスクリュー ● ○ 6 カ月 △
ガイド ● ○ 6 カ月 △
六角スプライン
シャフト
● ○ 6 カ月 △
認識装置
フィデューシャル
カメラ
照明、反射板 ● ● △
マルチカメラ 保護ガラス ● ● △
サイドビュー
カメラ (OP)
拡散板、レンズ ● ● △

iii
● : 実施 ○ : 点検結果、不具合発生の場合実行 △ : 弊社または代理店に連絡
セクション 項目 対象
点検周期 実施内容・時期
日常 毎週 毎月 3 カ月
6 カ月
以上
故障時 清掃 給油 交換 調整
その他
ブロー
ステーション
フィルター 1年 ● ○
ノズル
ステーション (OP)
ANC
センサボード
1年 ● ● ○
エア・オイル
ミストフィルター
フィルター ● ● ○