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ユーザーマニュアル SIPLACE D4 3 マシンのテクニカルデータ ソフトウエアバージョン S R.605.xx 以降 2008 年 7 月版 3.6 X- Y 軸システム 101 3.6.2 X 軸の構造 3 図 3.6 - 2 X 軸の構造 X 軸は、基本的に次の主要なモジュールで構成されています 。 – X-Y 軸アーム (1) – ヘッドマウント (2) – リニア測定システム (3) – X 軸ガイドシステム (4) – …

3 マシンのテクニカルデータ ユーザーマニュアル SIPLACE D4
3.6 X-Y 軸システム ソフトウエアバージョン SR.605.xx 以降 2008 年 7 月版
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3.6 X-Y 軸システム
3.6.1 X-Y 軸の位置
3
図 3.6 - 1 X-Y 軸の位置
(1) X-Y 軸 1
(2) X-Y 軸 2
(3) X-Y 軸 3
(4) X-Y 軸 4
X-Y 軸システムは、二つの機能グループから構成されています。
– X 軸および
–Y軸
実装エリア 1
実装エリア 2

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ソフトウエアバージョン SR.605.xx 以降 2008 年 7 月版 3.6 X-Y 軸システム
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3.6.2 X 軸の構造
3
図 3.6 - 2 X 軸の構造
X 軸は、基本的に次の主要なモジュールで構成されています。
– X-Y 軸アーム (1)
– ヘッドマウント (2)
– リニア測定システム (3)
– X 軸ガイドシステム (4)
– X軸3相ACサーボモータ(5)
ヘッドマウントには、次の構成部品が取り付けられています。
– サブ X-Y 軸カメラ (PCB ビジョンモジュール用カメラ )
– ヘッドボード
– X 軸測定システム用測定ヘッド
– リボルバヘッド

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3.6 X-Y 軸システム ソフトウエアバージョン SR.605.xx 以降 2008 年 7 月版
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3.6.3 X 軸のテクニカルデータ
3
3.6.4 Y 軸の構造
3
図 3.6 - 3 Y 軸の構造
ドライブ 3 相 AC サーボモータ / タイミングベルト
最高速度 2.5 m/s
移動距離 375 mm
距離測定システム 金属製リニアスケール
測定長さ 400 mm
スケール長さ 420 mm
分解能 1 µ m
(1) X-Y 軸 1 (5) ガイドシステム
(2) X-Y 軸 2 (6) 永久磁石
(3) X-Y 軸 3 (7) 測定システム
(4) X-Y 軸 4 (8) アダプタプレート