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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitu ng SIPLACE CA-Serie 4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 216 4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen 4.3.1 V ersorgungseinheit 4 Abb. 4.…
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.2 Baugruppenübersichten
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Abb. 4.2 - 3 Baugruppenübersicht des SWS
(1) Klemmeinheit (2) Wafer-Kamera
(3) Flip-Unit (4) Wafer-Aufnahme
(5) Führung
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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen
4.3.1 Versorgungseinheit
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Abb. 4.3 - 1 Versorgungseinheit
4
(1) Manometer Druckluftversorgung (2) Spannungsversorgung
(3) Kommunikation mit SIPLACE-Automat (4) CAN-Bus
(5) Druckluftanschluss (abgewandelter Adap-
ter Blindstecker [03011592-01])
(6) LAN1
(7) LAN2
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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen
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4.3.2 Flip-Unit
4
Abb. 4.3 - 2 Flip-Unit
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(1) Flip-Kopf (2) Pipetten- bzw. Toolaufnahme
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