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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher 253 Abdeckblech montieren (nur bei 12" Waferaufnahme) 4 Montieren Sie das A…
4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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Klotz auf Klemmung montieren 4
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Abb. 4.5 - 14 Wafer-Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren
Montieren Sie den Klotz (2) aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Klemmung (1).
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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Abdeckblech montieren (nur bei 12" Waferaufnahme) 4
Montieren Sie das Abdeckblech mit 4 Schrauben auf die Waferaufnahme.
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Abb. 4.5 - 15 Wafer-Aufnahme - Abdeckblech montieren
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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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Hubring montieren 4
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Abb. 4.5 - 16 Wafer-Aufnahme - Hubring montieren
Legen Sie den Hubring (1) ein.
Stecken Sie die vier Federn (3) in die vier Bohrungen.
Stecken Sie die vier Fixierscheiben (2) auf.
Befestigen Sie die Fixierscheiben mit den Befestigungsschrauben (4).
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