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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher 251 Sensoren in die 12" Waferaufnahm e einbauen 4 Montieren Sie die beiden …
4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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Sensoren auf die Montagewinkel für 12" montieren 4
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Abb. 4.5 - 11 Wafer-Aufnahme - Sensor 1
(1) Montagewinkel
(2) Sensor auf Montagewinkel montiert
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Abb. 4.5 - 12 Wafer-Aufnahme - Sensor 2
(1) Montagewinkel
(2) Sensor auf Montagewinkel montiert
Montieren Sie die beiden Sensoren (2) auf die Montagewinkel (1) aus dem 12" Nachrüstsat-
zes.
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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Sensoren in die 12" Waferaufnahme einbauen 4
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
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Abb. 4.5 - 13 Wafer-Aufnahme - Sensoren montieren
Stecken Sie den Anschluss der Sensoren an.
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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Klotz auf Klemmung montieren 4
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Abb. 4.5 - 14 Wafer-Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren
Montieren Sie den Klotz (2) aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Klemmung (1).
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