00197497-03_UM_SiplaceCA-Serie_DE.pdf - 第227页

Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/ 2014 4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen 227 4 Abb. 4.3 - 10 Wafer -Wechsler-System (1) Wafer-Wechsler mit Greifer (…

100%1 / 516
4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
226
4
4.3.7 Wafer-Wechsler-System
Das Wafer-Wechsler-System besteht aus dem Magazin-Lift und dem Wafer-Wechsler mit Greifer.
Das Wafer-Wechsler-System wird benötigt, um eine vollautomatische Produktion mit dem SWS
sicherzustellen. Der Bediener wird nur für das Nachfüllen des Magazin-Lifts mit neuen Wafer-Kas-
setten benötigt.
Die Wafer werden in einem Wafer-Magazin bereitgestellt. Das Wafer-Magazin wird vom Bediener
in den Wafer-Magazin-Lift gestellt. Der Magazin-Lift hebt das Wafer-Magazin in die entspre-
chende Höhe, so dass der entsprechende Wafer in der Übergabeposition steht. Dort kann der Wa-
fer-Wechsler den Wafer aus dem Wafer-Magazin nehmen und wieder zurückschieben, nachdem
der Wafer abgearbeitet wurde.
Der Wafer-Wechsler besteht im wesentlichen aus der Greif-Einheit und den Führungsschienen.
Mit der Greifeinheit werden die Wafer aufgenommen und zur aktuell benötigten Position bewegt.
HINWEIS
Kein automatischer Ausstech-Tool-Wechsler
In dieser ersten Version steht noch kein automatischer Ausstech-Tool-Wechsler zur Ver-
fügung.
Daher kann das SWS ohne Unterbrechung nur Dies verarbeiten, welche mit dem selben
Ausstech-Tool gelöst werden können.
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen
227
4
Abb. 4.3 - 10 Wafer-Wechsler-System
(1) Wafer-Wechsler mit Greifer
(2) Magazin-Lift
1
2
4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
228
4.3.7.1 Magazin-Lift
4
Abb. 4.3 - 11 Magazin-Lift
(1) Magazin-Einschub mit Wechselplatte für die Aufnahme von 8"- und 12 "-Magazin-Kassetten
(2) Motor
(3) Wafer-Wechsler mit Abdeckung
4
2
3
1