KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09.pdf - 第407页
6 - 85 Ⅰ . 継続生産ファイルがある場合 継続生産を行い、再クランプ後生産 搬送路上基板 生産中断時 搬送路基板 搬送路上の状態図 No. 継続 生産 生産動作 左 右 左 右 左 右 実行後の動作 ① 有り 有り 再 ｸﾗﾝﾌﾟ 後生産開始前に基 板搬入を行わず継続生産 ② 有り 無し エラー ③ 無し 有り エラー ④ 無し 無し − − 選択不可 ⑤ 有り 有り 情報 無し 情報 無し 再 …
6 - 84
Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
⑨
順次混合生産で、搬出側の基板が待ち状態で、入口ステーションが生産時に生産が中断され
た場合。
（継続生産ファイルを使用、再クランプ選択時）
搬入側（待ち）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産中）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち）
搬出側（待ち）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
搬出する）
搬出側（搬出する）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
再ｸﾗﾝﾌﾟ
)
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
搬出側
◇
この場合、搬出側の基板を次工程に送り、出口ステーション上の基板を搬出側へ、入口ステ
ーション上の基板を再クランプする必要があります。
ただし、この時のみ、出口ステーションと搬出側ステーションの基板を搬出した後、入口ス
テーション上の基板を再クランプし、継続生産を開始します。
6 - 85
Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
継続生産を行い、再クランプ後生産
搬送路上基板
生産中断時
搬送路基板
搬送路上の状態図
No.
継続
生産
生産動作
左 右 左 右 左 右
実行後の動作
①
有り
有り
再ｸﾗﾝﾌﾟ後生産開始前に基
板搬入を行わず継続生産
②
有り
無し
エラー
③
無し
有り
エラー
④
無し
無し
− −
選択不可
⑤
有り
有り
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し継
続生産（要注意）
⑥
有り
有り
エラー
⑦
有り
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後生産開始前に基
板搬入を行わず継続生産
⑧
無し
有り
エラー
⑨
無し
無し
− −
選択不可
⑩
有り
無し
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し継
続生産（要注意）
⑪
有り
有り
エラー
⑫
有り
無し
エラー
⑬
無し
有り
再ｸﾗﾝﾌﾟ後生産開始前に基
板搬入を行わず継続生産
⑭
無し
無し
− −
選択不可
⑮
無し
有り
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し継
続生産（要注意）
⑯
有り
有り
⑰
有り
無し
⑱
無し
有り
エラー
（基板がありません）
⑲
無し
無し
− −
選択不可
⑳
行う
再ｸﾗﾝﾌﾟ
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
エラー
（基板がありません）
6 - 86
Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
継続生産を行わず、再クランプ後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
事
例
No.
継続
生産
生産動作
左 右 左 右 左 右
実行後の動作
①
有り
有り
− −
②
有り
無し
− −
③
無し
有り
− −
選択不可
ただし、再開生産 の時は
選択可。
その場合、情報無しと同じ
扱いになります。
④
無し
無し
− −
−
⑤
有り
有り
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し
継続生産（要注意）
⑥
有り
有り
− −
⑦
有り
無し
− −
⑧
無し
有り
− −
選択不可
ただし、再開生産 の時は
選択可。
その場合、情報無しと同じ
扱いになります。
⑨
無し
無し
− −
−
⑩
有り
無し
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し
継続生産（要注意）
⑪
有り
有り
− −
⑫
有り
無し
− −
⑬
無し
有り
− −
選択不可
ただし、再開生産 の時は
選択可。
その場合、情報無しと同じ
扱いになります。
⑭
無し
無し
− −
−
⑮
無し
有り
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し
継続生産（要注意）
⑯
有り
有り
− −
⑰
有り
無し
− −
⑱
無し
有り
− −
選択不可
ただし、再開生産 の時は
選択可。
その場合、情報無しと同じ
扱いになります。
⑲
無し
無し
− −
−
⑳
行わ
ない
再ｸﾗﾝﾌﾟ
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
エラー
（基板がありません）