KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09.pdf - 第409页
6 - 87 Ⅰ . 継続生産ファイルがある場合 （２）基板搬入後生産を選択した時に、搬送路上に基板があり、基板搬出をする場合 ◇ 生産動作を中断した場合（継続生産ファイルの使用、未使用にかかわらず） ① 同時生産で両ステーションとも生産直後で、両ステーションに基板がある場合。 入口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産済み） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産済み） 入口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出可） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出可） …
6 - 86
Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
継続生産を行わず、再クランプ後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
事
例
No.
継続
生産
生産動作
左 右 左 右 左 右
実行後の動作
①
有り
有り
− −
②
有り
無し
− −
③
無し
有り
− −
選択不可
ただし、再開生産 の時は
選択可。
その場合、情報無しと同じ
扱いになります。
④
無し
無し
− −
−
⑤
有り
有り
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し
継続生産（要注意）
⑥
有り
有り
− −
⑦
有り
無し
− −
⑧
無し
有り
− −
選択不可
ただし、再開生産 の時は
選択可。
その場合、情報無しと同じ
扱いになります。
⑨
無し
無し
− −
−
⑩
有り
無し
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し
継続生産（要注意）
⑪
有り
有り
− −
⑫
有り
無し
− −
⑬
無し
有り
− −
選択不可
ただし、再開生産 の時は
選択可。
その場合、情報無しと同じ
扱いになります。
⑭
無し
無し
− −
−
⑮
無し
有り
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し
継続生産（要注意）
⑯
有り
有り
− −
⑰
有り
無し
− −
⑱
無し
有り
− −
選択不可
ただし、再開生産 の時は
選択可。
その場合、情報無しと同じ
扱いになります。
⑲
無し
無し
− −
−
⑳
行わ
ない
再ｸﾗﾝﾌﾟ
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
エラー
（基板がありません）
6 - 87
Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
（２）基板搬入後生産を選択した時に、搬送路上に基板があり、基板搬出をする場合
◇ 生産動作を中断した場合（継続生産ファイルの使用、未使用にかかわらず）
①
同時生産で両ステーションとも生産直後で、両ステーションに基板がある場合。
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産済み）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産済み）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出可）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出可）
両ステーション上の基板を次工程へ送ります。
②
入口ステーション
のみの生産の終了直後（入口ステーションの片側生産、または、順次
混合で入口ステーションでの生産終了後）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産済み）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出可）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
入口ステーション上の基板を次工程へ送ります。
③
出口ステーションのみの生産の終了直後（出口ステーションの片側生産、または、順次
混合で出口ステーションでの生産終了後。または、同時生産で搬入待ちタイムアウトと
なり出口ステーションのみの生産終了後）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産済み）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出可）
出口ステーション上の基板を次工程へ送ります。
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Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
継続生産を行い、基板搬入後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
事
例
No.
継続
生産
生産動作
左 右 左 右
左 右
実行後の動作
①
有り
有り
− −
②
有り
無し
− −
③
無し
有り
− −
選択不可
④
無し
無し
− −
−
⑤
有り
有り
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産（注）
⑥
有り
有り
− −
⑦
有り
無し
− −
⑧
無し
有り
− −
選択不可
⑨
無し
無し
− −
−
⑩
有り
無し
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に基
板搬入後継続生産（注）
⑪
有り
有り
− −
⑫
有り
無し
− −
⑬
無し
有り
− −
選択不可
⑭
無し
無し
− −
−
⑮
無し
有り
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に基
板搬入後継続生産（注）
⑯
有り
有り
⑰
有り
無し
⑱
無し
有り
生産開始前に基板搬入後、継
続生産
⑲
無し
無し
− −
−
⑳
行う
基板搬入
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
生産開始前に基板搬入後、継
続生産