KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09.pdf - 第643页
13 - 6 (2) 配管系統図（ヘッド） Blow-Sw P ø 8 (3) 配管系統図（一括交換台， 4 ｹ 所共通） ø 6 ø 6 ø 6 ø 6 ø 6 ø 6 P
13 - 5
以下の配管図を参考にして下さい。
(1) 配管系統図（本体）
ø4
ø4
Cell block
ø4
ø6
ø12
ø12
ø8
ø8
ø8
ø8
ø6
ø6
AB
PR
CVS
ø6 ST=30
ø6
ø8
ø6
ø4
ø4
ø4
ø4
ø4
ø4
ø4
ø4
ø4
ø4
ø4
ø4
ø4
ATC L
ATC R
B
A
B
A
B
A
B
A
B
A
B
A
B
A
B
A
B
A
13 - 6
(2) 配管系統図（ヘッド）
Blow-Sw
P
ø8
(3) 配管系統図（一括交換台，4 ｹ所共通）
ø6
ø6
ø6
ø6
ø6
ø6
P
13 - 7
13-2-4.
エアフィルタ（ヘッド）
エアフィルタ（ヘッド）エアフィルタ（ヘッド）
エアフィルタ（ヘッド）
1. Z スライドシャフト①の止めねじ②をゆるめて，ノズルアウタシャフト③を抜きます。
2. フィルタ④の汚れを点検して下さい。
3. 汚れ等があれば，ノズルアウタシャフト③からフィルタ④を交換します。
4. ノズルアウタシャフト③を Z スライドシャフト①に差し込み，止めねじ②でしっかり固
定します。
フィルタ④ 品番：E3052729000
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
③
④
①
②