KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09.pdf - 第43页
1 - 23 1-2-2. 基板搬送部の機構及び各部の名称 基板搬送部の機構及び各部の名称 基板搬送部の機構及び各部の名称 基板搬送部の機構及び各部の名称 1. ピン基準の場合 1) １枚目の基板が搬入されると， IN センサ①が基板を検出。 2) ＩＮモータ④を駆動し，搬送開始。 3) ウェイトセンサ③が基板を検知しますと， 出口側ストッパ 24 をＯＮ， Ｃ . 基板チャックセンサ 32 ・Ｓ . 基板チェックセンサ 33 をＯＦＦ…
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3
1
5
4
1
2
5
図
図図
図
1-2-1-3
①
ATC
ユニット
④基板搬送ユニット
②ヘッドユニット
⑤フィーダバンクユニット
③
X-Y
ユニット
1 - 23
1-2-2.
基板搬送部の機構及び各部の名称
基板搬送部の機構及び各部の名称基板搬送部の機構及び各部の名称
基板搬送部の機構及び各部の名称
1.
ピン基準の場合
1)
１枚目の基板が搬入されると，
IN
センサ①が基板を検出。
2)
ＩＮモータ④を駆動し，搬送開始。
3)
ウェイトセンサ③が基板を検知しますと，出口側ストッパ
24
をＯＮ，Ｃ
.
基板チャックセンサ
32
・Ｓ
.
基板チェックセンサ
33
をＯＦＦします。
4)
出口側ストップセンサ⑲が基板を検出しますと，搬送を停止し，出口側
BU
プレート
28
を上
昇させ，出口側センタリングピン
27
とで位置決め固定します。
5)
２枚目の基板は，ウェイトセンサ③で待機。
6)
１枚目の基板が入口側Ｃ
.
ＯＵＴセンサ⑦を検知しますと，入口側ストッパ⑪をＯＮします。
7)
２枚目の基板を入り口側センターモータ⑧を駆動し，搬出開始。
8)
入口側ストップセンサ⑥が基板検出しますと，搬送を停止し，入口側ＢＵテーブル⑮を上昇さ
せ，入口側センタリングピン⑭とで位置決め固定します。
9)
３枚目の基板は，ウェイトセンサ③で待機。
2.
外形基準の場合
搬入動作はピン基準と同じですが，固定時に基板の外形を入口側Ｘプッシャ⑫，入口側Ｙプッシャ
⑬及び，出口側Ｘプッシャ
25
，出口側Ｙプッシャ
26
により固定します。
搬出動作はピン基準と同じです。
1 - 24
①
IN
センサ
⑪ 入口側ストッパ
21
出口側
BU
センサ
31
ＹＣモータ
②
OUT
センサ
⑫ 入口側Ｘプッシャ
22
出口側センターモータ
32
Ｃ.基板チャックシリンダ
③ ウェイトセンサ
（外形基準オプション）
23
ドライブシャフト
(出口側）
33
Ｓ.基板チャックシリンダ
④ IN モータ ⑬ 入口側Ｙプッシャ
24
出口側ストッパ
34
減圧弁
⑤ ドライブシャフト（ＩＮ） ⑭ 入口側センタリングピン
25
出口側Ｘプッシャ （外形基準オプション）
⑥ 入口側ストップセンサ ⑮ 入口側ＢＵテーブル （外形基準オプション）
⑦ 入口側Ｃ.ＯＵＴセンサ ⑯ 入口側ＢＵモータ
26
出口側Ｙプッシャ
⑧ 入口側ＢＵセンサ ⑰ ＢＵピン （外形基準オプション）
⑨ 入口側センターモータ ⑱ ドライブシャフト（出口側）
27
出口側センタリングピン
⑩ ドライブシャフト（入口側） ⑲ 出口側ストップセンサ
28
出口側ＢＵテーブル
⑳ 出口側Ｃ.ＯＵＴセンサ
29
出口側ＢＵモータ
30
ＹＣ原点センサ・+リミット
センサ・−リミットセンサ