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2-12 2 ■ 轴 移 动 轴移动画面 1 2 3 4 5 6 26 2 0 4- M 0 -0 0 按 钮 名 称 功 能 1 扩 大 、 缩 小 （ ＋ 、 － ） 进 行 图 像 的 扩 大 与 缩 小 。 （ 1 6 倍 〜 1 / 1 6 倍 ） 2 标 记 照 明 可 以 手 动 更 改 标 记 照 明 。 不 影 响 数 据 。 3 P T P 对 象 自 动 移 至 指 定 坐 标 。 4 步 进 方 式 用 方 …
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2.3 装置画面
说明「装置」画面内的手动操作按钮。
■传送装置手动操作
「装置」－「传送装置」画面
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26203-M0-00
按钮名称 功能
1 基板传入 从入口或待机位置移动基板固定在安装位置。
2 基板传出 解除基板固定将基板移至出口挡板位置。
3 传送宽度
显示传送宽度的调整对话框，输入数值按
［OK］按钮后自动调整。
4 轴移动 手动移动轴时使用。
5 左、右 使传送带传动。
6 低速左、右 使传送带低速传动。
7 出口挡板 使传出的基板在出口位置停止时使用。
8 主挡板 使传入传送装置的基板在安装位置停止时使用。
9 入口挡板 使要传入的基板在待机位置停止时使用。
10 顶板
输入基板厚度后自动调整，从下（背面）
固定基板。
11 基板固定夹 从下（背面）夹住基板的边缘固定。
12 两工作台 同步运行 1 基板台和基板台 2 时使用。
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■轴移动
轴移动画面
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26204-M0-00
按钮名称 功能
1 扩大、缩小（＋、－） 进行图像的扩大与缩小。（16 倍〜 1/16 倍）
2 标记照明 可以手动更改标记照明。不影响数据。
3 PTP 对象自动移至指定坐标。
4 步进方式 用方向键移动步进行程中指定的量。
5 方向键 用于移动至想要移动的方向。
6 制动
用于在紧急停机状态下解除制动的情况。（仅限 W 轴和 PU 轴）
如果将伺服置于 ON 状态制动将自动解除。
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■Head 手动操作
「装置」－「Head」画面
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26205-M1-00
按钮名称 功能
1 吸气 使各 Head 的吸气 ON/OFF。
2 排气 使各 Head 的排气 ON/OFF。
3 吸嘴 STN 开闭器 开闭吸嘴交换站的开闭器。
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更换吸嘴
显示「更换吸嘴」对话框，指定 Head 和吸嘴
类型进行吸嘴更换。
5 目前吸嘴列表 显示目前 Head 上所安装吸嘴类型的列表。
6 轴移动 用于移动轴。与「传送装置」的轴移动相同。
7 清扫排气 显示吸嘴轴排气执行确认画面。