NXT II 規格說明書.pdf - 第19页

  － 16 － 在雙模組生 產 (M3 II 模 組 ) 的 自動 支撐銷規 格中 ，根據基 板尺 寸 (W) 更換通 道１、２ 的支撐 板。雙模組生產用的支撐板，為在 X 方向上將單模組生產用的支撐板向外伸出的構造。                             根據生產形態、基板尺寸 (W) ，用支撐板尺寸 (a) 和伸出部的長度 (b) 的組合來更換支撐板。 …

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－ 15 －
由標準配置的馬達對基板搬運軌道進行自動寬度調整
。
消除了停止基板時對基板的衝擊，並且可以方便地進行基板搬運方向的切換。
雙搬運軌道不僅可以搬運/生產同種類型的基板，而且可以搬運/生產不同類型的基
板, 2個搬運軌道的寬度可以各自獨立地變更。
如果在通道
1和通道2安裝相同尺寸的支撐板，就可以在無支撐板換線的情況下進行雙
搬運軌道和單搬運軌道的切換（圖A,D）。另外，如果變更通道1支撐板尺寸，可以將
通道2的基準軌道靠近到跟前的212mm（圖B）或 247mm（圖C）的位置，從而提高
週期時間。此時，只要通過更換通道1的支撐板和移動通道2支撐板的安裝位置就可以
對應。
單搬運軌道可以用 1 種支撐板對應所有的基板尺寸（圖 E）。
基板尺寸
(W) (mm)
支撐板尺寸(W)
(mm)
搬運軌道規格
基板
搬運方式
通道 1 通道 2 通道 1 通道 2
圖
48～280 48～280
312
1
312
2
A
48～165 48～280
215
3
312
2
B
雙軌道搬運
48～200 48～280
250
3
312
2
C
雙搬運軌道
48～510
312
1
312
2
D
單搬運軌道
單軌道搬運
48～610
312
4
312
4
E
※1 雙搬運軌道用的通道 1 專用的支撐板。
※2 雙搬運軌道用的通道 2 專用的支撐板。
※3 使用此支撐板時，後側搬運軌道相對於基準(基板寬 280mm)位置向面前側移動。因此，
在生產後側搬運軌道的基板時，Y 軸的移動距離可以比在基準位置時短，由此可以提高
週期時間。
※4 單搬運軌道用的支撐板。
327
圖 B
48～165
48～280
215
312
通道 1
通道 2
不需要進行支撐板的換線
312
312
圖 E
通道 1
48～610
212
圖
A
圖 C
支撐板
搬運軌道
48～280
48～280
312
312
通道 1
通道 2
250
312
247
通道 1
通道 2
48～200
48～280
48～510
通道 1
312
312
圖 D
－ 16 －
在雙模組生產(M3 II 模組)的自動支撐銷規格中，根據基板尺寸(W)更換通道１、２的支撐
板。雙模組生產用的支撐板，為在 X 方向上將單模組生產用的支撐板向外伸出的構造。
根據生產形態、基板尺寸(W)，用支撐板尺寸(a)和伸出部的長度(b)的組合來更換支撐板。
搬運軌道規格 支撐板類型
a b
1A 312 33
1B 312 105
1C 312 185
1D
1
215 33
1E
1
215 105
1F
1
250 33
1G
1
250 105
1H 312 265
雙搬運軌道
1J 312 292
1K 312 33
1L 312 105
1M 312 185
1N 312 265
單搬運軌道
1P 312 292
搬運軌道規格 支撐板類型
a b
2A 312 33
2B 312 105
2C 312 185
2D
2
312 0
2E 312 51
雙搬運軌道
2F 312 131
2G
2
312 0
2H 312 51
2J 312 131
單搬運軌道
2K 312 208
※ 支撐板類型是說明時用的，實際上沒有個別的名稱。
※1 使用該支撐板時，後側搬運軌道相對於基準(基板寬 280mm)位置向面前側移動。因此，在生產後側搬
運軌道的基板時，Y 軸的移動距離可以比在基準位置時短，從而可以提高週期時間。
※2 與單模組生產時相同的支撐板。
圖. 雙模組生產用支撐板
表 通道 1 用支撐板
表 通道 2 用支撐板
M/C 前方
M/C 後方
伸出部的長度(b)
支撐板尺寸(a)
－ 17 －
對應基板尺寸的支撐板的組合
■ 雙搬運軌道(雙通道生產)
・ 通道 1－通道 2 間距:327mm
通道 2
基板尺寸(W) 48～120 120～200 200～280
48～120
1A+2A 1A+2B 1A+2C
120～200
1B+2A 1B+2B 1B+2C
通道 1
200～280
1C+2A 1C+2B 1C+2C
・ 通道 1－通道 2 間距:212mm
通道 2
基板尺寸(W) 48～120 120～200 200～280
48～120
1D+2A 1D+2B 1D+2C
通道1
120～165
1E+2A 1E+2B 1E+2C
・ 通道 1－通道 2 間距:247mm
通道 2
基板尺寸(W) 48～120 120～200 200～280
48～120
1F+2A 1F+2B 1F+2C
通道1
120～200
1G+2A 1G+2B 1G+2C
■ 雙搬運軌道(單通道生產)
基板尺寸(W)
48～120
1A+2D
120～200
1B+2D
200～280
1C+2D
280～360
1H+2D
360～440
1J+2E
通道
1
440～510
1J+2F
■ 單搬運軌道(單通道生產)
基板尺寸(W)
48～120
1K+2G
120～200
1L+2G
200～280
1M+2G
280～360
1N+2G
360～440
1P+2H
440～520
1P+2J
通道
1
520～610
1P+2K