NXT II 規格說明書.pdf - 第45页

   - 42 - ∶ 單位 mm ※基板搬運高度為 90 0mm 時的外觀圖。 在拉出模組時,  側防護罩的 SW 也一起被拉出。

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41
單位 mm
※基板搬運高度為900mm時的外觀圖。
在拉出模組時,
側防護罩的 SW
也一起被拉出。
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42
單位 mm
※基板搬運高度為900mm時的外觀圖。
在拉出模組時,
側防護罩的 SW
也一起被拉出。
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43
單位 mm
<4M II 基座>
機器前側
<2M II 基座>
機器前側