NXT II 規格說明書.pdf - 第44页
- 41 - ∶ 單位 mm ※基板搬運高度為 90 0mm 時的外觀圖。 在拉出模組時, 側防護罩的 SW 也一起被拉出。

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準備了各種NXT用的周邊機器。
有NXT用往復搬運軌道。
往復搬運軌道分為NXT依存型和自立型2種類型。
在搬運軌道的寬度調整方面,NXT依存型為自動變更寬度、自立型為手動變
更寬度。
※
關於搬運軌道的詳細規格,請參照另冊的[NXT 用往復搬運軌道規格說明書]。

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單位 mm
※基板搬運高度為900mm時的外觀圖。
在拉出模組時,
側防護罩的 SW
也一起被拉出。

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∶
單位 mm
※基板搬運高度為900mm時的外觀圖。
在拉出模組時,
側防護罩的 SW
也一起被拉出。