NXT II 規格說明書.pdf - 第47页

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100%1 / 47
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－ 42 －
∶
單位 mm
※基板搬運高度為900mm時的外觀圖。
在拉出模組時，
側防護罩的 SW
也一起被拉出。
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－ 43 －
∶
單位 mm
<4M II 基座>
機器前側
<2M II 基座>
機器前側
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－ 44 －
10mm
接地線
電源電纜
主電源開關
三相電線
電源電纜
蓋
一次側
主電源開關背面
電纜夾
20PM
插頭
3/8 英寸管用接套
數字式壓力計
氣源投入口
手柄
把手
0.5MPa 以上
管子
一次電源電纜尺寸為 AWG12(3.5sq)以上。