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操作手册 I 3-12 Step5-3 执行 BOC 标记示教。 因基板批次不同，BOC 标记或基准领域标记有变化时，需要重新取得标记信息。 2. 显示「标记数据示教」画面。 *在这里只确认「BOC 标记识别」执行是 否正确。 请按「BOC 标记识别」按钮。 3. 请确认安全后，按下 [继续] 按钮。 进行 BOC 标记识别。 也可按下传送控制按钮， 传送基板。 1. 按下 [标记示教] 。
操作手册 I
3-11
Step5-2 在基板搬送画面上执行基板搬出。
请确认是否保持与生产时的动作同步传送基板，传送动作是否有问题。
2. 把基板安装在 IN 缓冲，确认连续动
作时基板流动是否顺畅。
选择[基板搬入]-[执行]后,基板即可搬
入、夹紧。
选择「基板搬出」-「执行」后，基板即可
搬出。
1. 按下「基板传送」按钮,即显示「基
板传送」画面。
操作手册 I
3-12
Step5-3 执行 BOC 标记示教。
因基板批次不同，BOC 标记或基准领域标记有变化时，需要重新取得标记信息。
2. 显示「标记数据示教」画面。
*在这里只确认「BOC 标记识别」执行是
否正确。
请按「BOC 标记识别」按钮。
3. 请确认安全后，按下 [继续] 按钮。
进行 BOC 标记识别。
也可按下传送控制按钮，
传送基板。
1.按下 [标记示教]。
操作手册 I
3-13
Step5-4 执行坏板标记示教（OCC）。
坏板标记的标示方法和材质有变更时，因标记明亮度的「阈值」会有变化，需要进行示教。
检查单元以“OCC”为例记述。
2. 显示「坏板标记示教」画面
请选择坏板标记检查单元「OCC」。
5.同样，进行无标记位置的示教。
1. 请按下「坏板标记示教」。
3.选择有标记位置的输入焦点（X,Y 任
何一个均可），按「功能栏」的「示教」
按钮。
4. 显示「OCC 坏板标记坐标示教」画面。
边看叠加画面，边设置检出框。看图像状
况，直接触摸画面，设置检出框。
设置检出框后，按[确定]。