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操作手册 I 4-14 1 ）用抹布、柔软的布等，擦掉 X 轴普拉轨道安装的 CB （电缆套）支撑座内侧部分。 清扫部位 4-3-2 X 轴 CB 支撑 实施频度 ：每 6 个月 清扫内容 清扫灰尘、异物 使用工具 ：抹布 CB 支撑部分 X 轴电缆套
操作手册 I
4-13
4-3 清扫
1) 请检查Ｘ轴单元和Ｙ軸单元轨道上有无附着垃圾、灰尘，并清扫干净。
把黄油揩干后，请涂抹新黄油。
<L、XL 基板规格>
清扫部位
4-3-1 XY 轴直动单元
实施频度 ：每月
清扫内容 除去轨道、滚珠丝杠上的灰尘、脏黄油
使用工具 ：
毛刷、抹布
使用黄油 ：
LM 导轨：6459 润滑油 N
滚珠丝杠：NSL 润滑油
Y 轴直动单元
X 轴直动单元
操作手册 I
4-14
1）用抹布、柔软的布等，擦掉 X 轴普拉轨道安装的 CB（电缆套）支撑座内侧部分。
清扫部位
4-3-2 X 轴 CB 支撑
实施频度 ：每 6 个月
清扫内容 清扫灰尘、异物 使用工具 ：抹布
CB 支撑部分
X 轴电缆套
操作手册 I
4-15
1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、受光面附着的灰尘和垃圾清除干净。
如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。
< L、XL 基板规格>
清扫部位
4-3-3 各种传送传感器
实施频度 ：每月
清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具：抹布 推荐溶剂 ：IPA
IN,OUT 传感器
WAIT,STOP,C・OUT 传感器