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操作手册 I 3-20 ＜步骤 2＞ VCS 弄脏检查(选项) 2. 按下[执行检查]。 如果安装有选购项 VCS 时，通过一次检 查，即可进行标准 （装备） 、选购项的脏 污检查。 1. 按下[VCS 弄脏检查]。 3. 确认状态是否为正常。 *发现 “弄脏” 时， 请按照 『操作手册 II』 的「第 3 章 维护」进行 VCS 的清扫。
操作手册 I
3-19
Step5-7 执行生产程序检查。
检查生产程序的内容，确认与机器的状态（吸嘴配置、检查单元等）有无矛盾。
＜步骤１＞ 生产程序检查
2. 按下「检查」后，开始检查生产程
序。
3. 发现异常时显示「错误/警告」。
根据错误内容的详情，
排除错误原因。
确认后，按「确定」关闭画面。
1. 请按下「生产程序检查」。
操作手册 I
3-20
＜步骤 2＞ VCS 弄脏检查(选项)
2. 按下[执行检查]。
如果安装有选购项 VCS 时，通过一次检
查，即可进行标准（装备）、选购项的脏
污检查。
1.按下[VCS 弄脏检查]。
3. 确认状态是否为正常。
*发现“弄脏”时，请按照『操作手册 II』
的「第 3 章 维护」进行 VCS 的清扫。
操作手册 I
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Step6 执行生产。
在“基板生产”画面上设置“生产计划数量”，按下[开始开关]后，即开始生产。
警告
按下[开始开关]后，装置即开始移动。
为避免伤害人身，请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。
要使用
IFS-NX 的选项功能时，需要在生产开始前完成元件核对工作。在未完成
元件核对工作的情况下按下开始开关时，会显示警告画面，不能开始生产
。
2. 按下「确定」按钮。
1. 执行「支援准备」的各项作业后,
会显示勾号。
确认所有项目均已显示勾号。
3. 显示「生产」的画面。
输入「生产计划数量」。
4.按下[开始开关]后，开始生产。