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操作手册 I 4-15 1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、受光面附着的灰尘和垃圾清除干净。 如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（ IP A ）进行清扫。 < L 、 XL 基板规格 > 清扫部位 4-3-3 各种传送传感器 实施频度 ：每月 清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具：抹布 推荐溶剂 ： IPA IN,OUT 传感器 WAIT,STOP, C ・ OUT 传感器
操作手册 I
4-14
1）用抹布、柔软的布等，擦掉 X 轴普拉轨道安装的 CB（电缆套）支撑座内侧部分。
清扫部位
4-3-2 X 轴 CB 支撑
实施频度 ：每 6 个月
清扫内容 清扫灰尘、异物 使用工具 ：抹布
CB 支撑部分
X 轴电缆套
操作手册 I
4-15
1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、受光面附着的灰尘和垃圾清除干净。
如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。
< L、XL 基板规格>
清扫部位
4-3-3 各种传送传感器
实施频度 ：每月
清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具：抹布 推荐溶剂 ：IPA
IN,OUT 传感器
WAIT,STOP,C・OUT 传感器
操作手册 I
4-16
1) 检查 CAL 块① 上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。
如果去不掉脏污，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
4-3-4 CAL 块
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫 CAL 块 使用工具：抹布 推荐溶剂 ：IPA
①
②