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操作手册 I 3-22 5. 按一次[停止开关]，会进入暂停状 态。再按一次，则显示中断画面。 6. 进入暂停状态，显示「暂停」画面。 *为了避免故障， 要进行安全盖的开闭时 请按[安全盖解除锁定]按钮。 7. 显示中断画面。 按[开始开关]，则继续进行生产。 按[停止开关]，则停止生产。
操作手册 I
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Step6 执行生产。
在“基板生产”画面上设置“生产计划数量”，按下[开始开关]后，即开始生产。
警告
按下[开始开关]后，装置即开始移动。
为避免伤害人身，请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。
要使用
IFS-NX 的选项功能时，需要在生产开始前完成元件核对工作。在未完成
元件核对工作的情况下按下开始开关时，会显示警告画面，不能开始生产
。
2. 按下「确定」按钮。
1. 执行「支援准备」的各项作业后,
会显示勾号。
确认所有项目均已显示勾号。
3. 显示「生产」的画面。
输入「生产计划数量」。
4.按下[开始开关]后，开始生产。
操作手册 I
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5. 按一次[停止开关]，会进入暂停状
态。再按一次，则显示中断画面。
6. 进入暂停状态，显示「暂停」画面。
*为了避免故障，
要进行安全盖的开闭时
请按[安全盖解除锁定]按钮。
7. 显示中断画面。
按[开始开关]，则继续进行生产。
按[停止开关]，则停止生产。
操作手册 I
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Step7 结束生产画面。
1. 从命令按钮中选择结束。
2. 没有保存生产程序时，会显示「确认
生产信息」画面。
选择「是」后，生产中变更的程序和生
产管理信息即可保存下来。