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操作手册 I 4-46 真空泵分解图 No. 名称 No. 名称 1 壳 10 O 环 S-67 2 泵头护罩 11 密封圈 3 泵头盘 12 排气阀按压件 4 碗形密封气缸 13 排气阀 5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫 6 固定器 15 O 环 P-10 7 碗形密封垫 16 内六角螺栓( M5×20 ) 8 吸气阀 17 平头小螺钉 (M4×8) 9 连接管 18 圆头小螺钉 (M3×5)

操作手册 I
4-45
●吸气阀、排气阀的更换
1) 松开圆头螺钉(M3×5) ,按下并取下排气阀。
2) 擦干净泵头盘,更换新的排气阀。
3) 盖上排气阀按压件,使用 0.8N・m 的力,用涂抹了螺钉松动防止剂(Loctite242)的圆头螺钉(M3×5)
对泵头盘进行固定。
4) 松开固定吸气阀的圆头螺钉(M3×5),取下吸气阀和垫片。
5) 擦干净泵头盘,更换新的吸气阀。在将吸气孔、排气孔完全覆盖状态下,安装吸气阀、排气阀。
6) 叠好垫片,使用 0.8N・m 的力,用涂抹了螺钉松动防止剂(Loctite242)的圆头螺钉(M3×5)对
泵头盘进行固定。
※请按照密封材料更换步骤安装护罩。在更换其它消耗部件时,请不要关闭护罩,参照各部位的更换
步骤操作。
吸气阀
垫片
※涂抹在螺钉头纹路2~3圈。
※螺钉前端处不要涂抹。
Loctite涂抹量
排气阀按压件
泵头盘
排气阀

操作手册 I
4-46
真空泵分解图
No. 名称 No. 名称
1 壳 10 O 环 S-67
2 泵头护罩 11 密封圈
3 泵头盘 12 排气阀按压件
4 碗形密封气缸 13 排气阀
5 连杆 14 防止吸气阀碰触胶垫
6 固定器 15 O 环 P-10
7 碗形密封垫 16 内六角螺栓(M5×20)
8 吸气阀 17 平头小螺钉(M4×8)
9 连接管 18 圆头小螺钉(M3×5)

操作手册 I
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4-9 管道系统图
(1)管道系统图(台架,基盘传送)
No.
产品编号 产品名称
①
PA630750300 AIR CYLINDER
②
PC015203000 SPEED CONTROLLER
③
PV0151170A0 SELECTOR
④
PX055104000 SILENCER
⑤
PV010505000 MECHANICAL VALVE
⑥
PX050501000 SILENCER
台架起重机(后侧)
连接器 BR(后侧)
顶推销(后侧) 顶推销(前侧)
连接器 BR(前侧)
台架起重机(前侧)
挡块
检查阀
检查阀
CAL 块
压力计
多支管
向贴片头周围
耦合器
手动阀
气路元件