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操作手册 I 4-41 3) 从真空泵拆下气管、 成捆电线 （电源线、 接地线） ， 卸下固定 V AC_PUMP_PLA TE 的③内六角螺栓 （ M4×8) 。 4 ）将真空泵从主机里取出。 ※ 取出时请注意成捆的电线。 ※取出 真空泵时，请勿把持连接管。 ※取出 真空泵时，有时真空泵托架会与橡胶垫粘连在一起。 VA C _ PUMP _ PLA TE 内六角螺栓×4 电源、接地线 连接管
操作手册 I
4-40
4-8 定期更换零件更换方法
考虑以下部件的损耗造成压力降低。
<损耗部件一览>
更换部件组货号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
碗形密封垫圈 2 有无异常磨耗、硬化、龟裂等现象 目视
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
O 环 S-67 2 有无变形、磨耗、硬化、龟裂等無 目视
O 环 P-10 4 有无变形、磨耗、硬化、龟裂等 目视
密封圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目视
防止吸气阀碰触胶垫 2 有无裂口、硬化 目视
需要更换下述时，请另行购买。
・真空润滑油 货号:40119551
在 O 环 P-10 上涂抹润滑油。
・螺钉松动防止剂 NK-4 货号:40119552
在拧紧固定器时（更换碗形密封垫圈、防止吸气阀碰触胶垫）需要。
●更换真空泵准备
<L,XL 规格>
1)确认真空泵没有运转。（刚停止运转后会很热，请停止后放置 30 分钟左右，确认泵冷却之后再开始作业。）
2)请拆下机器本体后侧下部的护罩。
・
检查 更换
4-8-1 真空泵零件的更换
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换周期 ：1 年
护罩
（螺钉×4）
操作手册 I
4-41
3)从真空泵拆下气管、成捆电线（电源线、接地线），卸下固定 VAC_PUMP_PLATE 的③内六角螺栓（M4×8)。
4）将真空泵从主机里取出。
※取出时请注意成捆的电线。
※取出真空泵时，请勿把持连接管。
※取出
真空泵时，有时真空泵托架会与橡胶垫粘连在一起。
VAC
_
PUMP
_
PLATE
内六角螺栓×4
电源、接地线
连接管
操作手册 I
4-42
●密封圈的更换
1） 取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头护罩内测的黑色
密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
3） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。（在更换其它消耗部件时，在
不关闭护罩状态下参照各部位的更换工工序项目）
●
更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
※泵头盘与碗形密封气缸之间的Ｏ环 S-67 有时会粘连在一起，
遇此情况请抓住泵头盘向上提，碗形密封气缸就会被一起提上来。
之后，再进行剥离作业。
泵头护罩
密封圈
内六角螺栓
泵头盘
将泵头盘翻过来的状态
碗形密封气缸
泵头盘
O
环
S-67
泵头盘