JUKI_RS-1-1R_OPE_CH.pdf - 第37页

操作手册 2- 12 2-4- 3 - 5 基板传送 显示各种传感器的状态,一边进行基板 搬入、基板搬 出、释放基板、个别控制、自动调整 基板 宽度, 一边进行传送相关的 调整。 (1) 操作 ① 传送动作 选择传送动作。 可选择 (基板 )搬入、(基板) 搬入 ( 第 2 次 ) 、搬 出(基板)、释放 基板、重夹。 ( (基板)搬入 ( 第 2 次 ) 仅单通道传送才 能选择 ) 起动时选择「基板搬 入」。 ② 搬送动作显示 根据指…

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操作手册
2-11
2-4-3-3 传送控制
在传送通道状态画面显示后,执行传送动作,进行马达、支撑台等有关控制。
详情内容请参见『RS-1/RS-1XL/RS-1R 使用说明书』「第 9 手动控制」的「9-4-1 传送控制」
的各小项。
2-4-3-4 外形基准位置调整
要进行外形基准位置调整。
外形基准位置调整
操作手册
2-12
2-4-3-5 基板传送
显示各种传感器的状态,一边进行基板搬入、基板搬出、释放基板、个别控制、自动调整基板宽度,
一边进行传送相关的调整。
(1) 操作
传送动作
选择传送动作。可选择(基板)搬入、(基板)搬入(2)、搬出(基板)、释放基板、重夹。
((基板)搬入(2)仅单通道传送才能选择)
起动时选择「基板搬入」。
搬送动作显示
根据指定的传送动作、动作站点,以图形显示传送状态的变化。
搬入后的BOC校准设
选择基板搬入是否立即实施 BOC 校准。
「按照操作选项」根据操作选项的设置决定是否进行 BOC 标记识别。
「必须执行」必须进行 BOC 标记识别。
「不执行」不执行 BOC 标记识别。
状态
显示执行传送动作中的信息。
显示传送方向、BOC标记、固定状态的信息。
轴退避
将轴进行退避。
执行
按下执行按钮,执行[基板搬入][基板搬出][释放基板] [重夹]动作。
操作手册
2-13
关闭
退出基板传送画面。
执行传送时,按<START>开关(或<执行>)
结束操作时,按关闭>。
传送过程中因为某种理由要取消动作时,可按<STOP>开关停止。
(2)传送通道动作状
基板搬入
将基板传入进行固定的缓冲区,进行固
这时固定的位置,会根据设置的设定、基板的外形尺寸而变化。
如果在固定位置上已有基板时,则在传出后再进行传入。
基板搬入(第 2 次 )( 基板安装(2 阶段)
进行第2阶段的固定。
搬出基板
将基板从固定位置传出
释放基板
如果基板被固定,则解除固定。
重夹
如果基板在固定位置上,则进行重夹动作,固定基板。
重夹(2 阶段)
基当基片是在夹紧位置时,重夹固定使 HMS 操作