CX-1_故障检修.pdf - 第338页
故障检修 记录工具 3-321 重量超过 2 公斤的基板。 ③ 等待传感器不变成 OFF(关闭)时，能考虑为等待传感器的故障。请与代理店或本公司技术服务部取 得联系。 ④ 如果中心马达不运转时，请与代理店或本公司技术服务部取得联系。 E650222 传送基板错误 : 入口传感器和等待传感器同时被检测时错误。请卸下基板。 [原因] 将把入口缓冲区(在等待传感器上面)的基板搬入到中心站台时,入口传感器检测(ON)到基板。 将把入口缓冲区(在…
故障检修 记录工具
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E642314 DTS 错误 : 在补充阶段不能运转
[原因]
虽然主机往 DTS 发送指令，可是 DTS 为补充状态，所以取消了运行要求。
[解决]
请把 DTS 恢复成生产状态之后，继续操作。
E642315 DTS 错误 : 因为其它原因，不能运转
[原因]
虽然主机往 DTS 发送指令，可是 DTS 响应的应答信息为不可执行的信息，所以取消了运行要求(不可执
行原因确定不了)。
[解决]
考虑 DTS 陷入异常状态。
再投入 DTS 的电源(若连接插头被拔掉，就会切断电源)。请初始化 DTS 后，继续操作。如果两三次反复
运行也发生同样的错误的话，请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E642321 DTS 错误 : 托盘设置要求错误
[原因]
虽然主机往 DTS 发送指令，可是要抽出的 DTS 托盘与实际托盘位置不相符(相反方向)
[解决]
考虑 DTS 陷入异常状态。
再投入 DTS 的电源(若连接插头被拔掉，就会切断电源)。请初始化 DTS 后，继续操作。如果两三次反复
运行也发生同样的错误的话，请与代理店或本公司技术服务部取联系。
E642322 DTS 错误 : 补充要求错误
[原因]
虽然主机往 DTS 发送补充指令，可是 DTS 不给变为补充状态。
[解决]
考虑 DTS 陷入异常状态。
再投入 DTS 的电源(若连接插头被拔掉，就会切断电源)。请初始化 DTS 后，继续操作。如果两三次反复
运行也发生同样的错误的话，请与代理店或本公司技术服务部取联系。
● 传送、自动调整基板宽度
E650009 基板传送错误: 因发现检查气缸干涉基板, 气缸不能上升。 请取下基板。
[原因]
打算上升检查汽缸, 但是，汽缸上升位置上检测到基板，所以没能进行上升动作。
[解决]
请搬走传送轨道上的基板。
E650010 基板传送错误: 因检测到基板气缸传感器错误，气缸不能上升。重新启动后，再检查。
[原因]
虽然运行了检查气缸操作，但是检查气缸传感器的状态在规定时间内不给变为 ON。
[解决]
① 关闭系统，关掉电源之后，请重新启动。
② 在①的处理上没有解决问题时，能考虑为轴控制基板的故障。
请与代理店或本公司技术服务部取得联系。
E650208 传送基板错误 : 检查中心马达停止错误。
[原因]
中心马达停止控制异常。作为原因，能考虑轴控制器基板的异常状态。
[解决]
① 关闭系统，关掉电源之后，请重新启动。
② 在①的处理上没有解决问题时，能考虑为轴控制基板的故障。
请与代理店或本公司技术服务部取得联系。
E650218 传送基板错误 : 不是 Resume 暂停状态， 却被接受 Resume 返回原点命令。
[原因]
系统内部发生了指令错误。
[解决]
请结束生产之后，在继续生产上进行再生产。
W650219 传送基板错误 : 正在传送基板。
[原因]
系统内部发生了指令错误。
[解决]
请结束生产之后，在继续生产上进行再生产。
E650221 传送基板错误 : 等待传感器 OFF 超时。
[原因]
基板从入口缓冲区到中心站台移动中，没有检测到等待传感器关闭。
基板因某种原因在传送道上被卡住，而停止。
[解决]
① 传送幅度和基板宽度不吻合，请再调整传送幅度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
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重量超过 2 公斤的基板。
③ 等待传感器不变成 OFF(关闭)时，能考虑为等待传感器的故障。请与代理店或本公司技术服务部取
得联系。
④ 如果中心马达不运转时，请与代理店或本公司技术服务部取得联系。
E650222 传送基板错误 : 入口传感器和等待传感器同时被检测时错误。请卸下基板。
[原因]
将把入口缓冲区(在等待传感器上面)的基板搬入到中心站台时,入口传感器检测(ON)到基板。
将把入口缓冲区(在入口传感器上面)的基板搬入到中心站台时,等待传感器检测(ON)到基板。
[解决]
① 入口传感器和等待传感器的安装位置不正确。请调整传感器位置，使两个传感器不要同时启动。
② 前工序的出口传感器位置太近的话，请重新调整出口传感器位置。
③ 要传送的基板不符机器规格。各种基板的最大界限是：M 基板时 330mm，L 基板时 410mm，E 基板时
510mm。
E650223 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板出错，被强行停止。 请取下基板。
[原因]
将把入口缓冲区(在等待传感器上面)的基板搬入到中心站台时,入口传感器检测(ON)到基板。
将把入口缓冲区(在入口传感器上面)的基板搬入到中心站台时,等待传感器检测(ON)到基板。
[解决]
① 入口传感器和等待传感器的安装位置不正确。请调整传感器位置，使两个传感器不要同时启动。
② 前工序的出口传感器位置太近的话，请重新调整出口传感器位置。
③ 要传送的基板不符机器规格。各种基板的最大界限是：M 基板时 330mm，L 基板时 410mm，E 基板时
510mm。
E650224 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板超过时间。
[原因]
因为入口传感器察觉到基板搬入，所以运行基板搬入，可是关闭入口传感器后，过一段时间也不能开启
等待传感器。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果打不开等待传感器时，就可以考虑等待传感器的故障。请与代理店或本公司技术服务部取得联
系。
E650225 传送基板错误 : 入口快门超时。
[原因]
在入口缓冲区进行基板搬入动作时，入口快门一直处于关闭状态。
入口快门传感器的线路有断线的可能性。
[解决]
请打开快门后，运行。
备注) 变为不能用快门控制。
E650226 传送基板错误 : 基板在入口缓冲区～中心缓冲区移动时，发现入口传感器 ON。 请取下基板。
[原因]
把入口缓冲区的基板往中心缓冲区移动时，入口传感器检测出ＯＮ(打开状态)。
[解决]
有可能前工序的ＯＵＴ(出口)传感器位置太靠近，请再调整一下ＯＵＴ(出口)传感器位置。
E650227 传送基板错误 : 入口传感器 OFF 超时。
[原因]
因检测出入口传感器的ＯＮ，所以进行了基板搬入动作，但是过了一定时间也未能检测到入口传感器的
OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果入口传感器没有变成 OFF，就可以认为入口传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务部
取得联系。
E650228 传送基板错误:因为[等待传感器缺口基板对应功能]有效，认为等待传感器上有基板…
[出错信息]
传送基板错误:因为[等待传感器缺口基板对应功能]有效，认为等待传感器上有基板。请把入口传感器
上的基板移到等待传感器上。
[原因]
机器设置的有关传送方面的设置中[等待传感器缺口基板对应功能]为有效状态。因此以前的传送动作留
下来的内部数据中查出等待传感器上有基板的状态。并且入口传感器为 ON 状态的结果，不能进行传送。
[解决]
请把入口传感器上的基板移到等待传感器上，或者取下入口传感器的基板。
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E650232 传送基板错误 : STOP 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到ＳＴＯＰ传感器的ＯＦＦ。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为ＳＴＯＰ传感器发生故障。请与代理店或本公司技
术服务部取得联系。
E650233 传送基板错误 : C.OUT 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果Ｃ．ＯＵＴ传感器没有变成 OFF 时，就认为Ｃ．ＯＵＴ传感器发生故障。请与代理店或本公司
技术服务部取得联系。
E650234 传送基板错误 : 基板从入口区到中心区移动超过时间。
[原因]
将入口缓冲区的基板搬到中心站台时，检测到入口缓冲区的等待传感器的 OFF 后，过了一段时间也ＳＴ
ＯＰ传感器不给变为 ON。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ传感器没有变成ＯＮ时，就认为ＳＴＯＰ传感器发生故障。请与代理店或本公司技术
服务部取得联系。
E650235 传送基板错误 : C.OUT 传感器 ON 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的 ON
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果 C.OUT 传感器没有变成 ON 时，就认为 C.OUT 传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务部
取得联系。
E650236 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 C.OUT 传感器 ON 错误。
[原因]
往中心缓冲区搬入基板时，中心停止传感器为ＯＮ时，检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650237 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 STOP 传感器 ON 错误。
[原因]
往中心缓冲区搬入基板时，中心停止传感器为ＯＮ时，检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650238 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 ON 超时。
[原因]
在固定时的基板吸取动作中，没有检测出真空传感器的 ON。
[解决]
有可能吸取基板后的真空传感器的检测动作时机过早。
请在机器设置上设置真空台。
E650239 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 OFF 超时。
[原因]
在固定时的基板吸取动作中，没能检测出真空传感器ＯＦＦ。
[解决]
有可能吸取基板后的真空传感器的检测动作时机过早。
请在机器设置上设置真空台。