CX-1_故障检修.pdf - 第94页
故障检修 记录工具 3-77 重新启动系统，确认是否运行正常。 E316502 传送初始化失败。停止返回原点。错误代码:%ld [原因] 传送初始化中，发生错误。 [解决] 重新启动系统，确认是否运行正常。 E316503 传送轨道上存在基板。 [原因] 传送轨道上检测出基板。 [解决] 请搬走传送轨道上的基板。 E316601 DTS 处于补充状态。 [原因] 因 DTS 正处于补充(元件交换)状态，所以不能控制。 [解决] 请把 D…
故障检修 记录工具
3-76
请参考手动控制的[激光控制]内的[状态一览]。
E316106 获取确定边界数据发生错误。代码: %ld
[原因]
以激光确定边界发生错误。
? : 错误代码
-1 : 通讯错误
其它 : 请参考手动控制的[激光控制]内的[状态一览]。
[解决]
请参考手动控制的[激光控制]内的[状态一览]。
E316107 不能获取数据。
[原因]
因为处于测定范围(±40mm)以外，HMS 不能获取 Z 轴坐标。
[解决]
检查 HMS 的测定位置(XY 坐标)是否正确。
E316301 MTC 电源被关闭。
[原因]
MTC 未处于供电状态。
[解决]
请打开 MTC 电源，并连接 MTC。
E316302 MTC 处于脱机状态。
[原因]
MTC 处于脱机状态。
[解决]
请连接 MTS。
E316303 MTC 处于补充状态。
[原因]
因为 MTC 处于补充(元件交换)状态，所以不能操纵。
[解决]
请把 MTC 恢复到通常状态。
E316401 MTS 电源被关闭。
[原因]
要取出 MTS 托盘，但 MTS 尚未供电。
[解决]
请打开 MTS 电源。
E316402 MTS 处于脱机状态。
[原因]
要取出 MTS 托盘，但 MTS 处于脱机状态。
[解决]
请连接 MTS。
E316403 因主机盖被打开，MTS 不能运转。
[原因]
要取出 MTS 托盘，但主机盖被打开。
[解决]
请关闭机盖。
E316404 MTS 机箱门被打开。
[原因]
要取出 MTS 托盘，但 MTS 机箱门被打开。
[解决]
请关闭 MTS 机箱门。
E316405 指定阶层托盘存储箱不存在。
[原因]
要取出 MTS 托盘，但不存在指定层的托盘存储箱。
[解决]
请设置有存储箱的层。
E316406 MTS 处于补充状态。
[原因]
因 MTS 正处于补充(元件交换)状态，所以不能控制。
[解决]
请把 MTS 恢复通常状态。
E316501 轴移动发生错误。代码: %ld
[原因]
轴移动时，发生错误。
[解决]
故障检修 记录工具
3-77
重新启动系统，确认是否运行正常。
E316502 传送初始化失败。停止返回原点。错误代码:%ld
[原因]
传送初始化中，发生错误。
[解决]
重新启动系统，确认是否运行正常。
E316503 传送轨道上存在基板。
[原因]
传送轨道上检测出基板。
[解决]
请搬走传送轨道上的基板。
E316601 DTS 处于补充状态。
[原因]
因 DTS 正处于补充(元件交换)状态，所以不能控制。
[解决]
请把 DTS 恢复通常状态。
E316602 DTS 机箱盖被打开。
[原因]
因为 DTS 的机箱盖被开着，所以不能控制。
[解决]
请关上 DTS 的机箱盖。
Q317001 退出手动控制，是否进行各 I/O 的安全方向设定？
[原因]
退出手动控制的时候显示，是否进行各个 I/O 安全方向设定的询问。
[解决]
如果单击[是]，将进行各个 I/O 的安全方向设定。
如果单击[否]，将取消手动控制的退出。
Q317011 尚未结束返回原点，是否执行返回原点？
[原因]
未完成返回原点，正在确认是否要执行返回原点。
[解决]
单击[是]键，进行返回原点并继续执行处理。
单击[否]键，不进行返回原点而继续执行处理。
Q317021 不能归还元件，是否废弃元件？
[原因]
放回吸嘴到 ATC 的时候，发现有元件在吸嘴上。因为不清楚元件的吸取位置，不能归还元件。
此时，询问是否废弃元件。
[解决]
如果单击[是]，将元件放回废弃位置。
如果单击[否]，将移到取下吸嘴的 Head 等待位置，要求取下元件。
Q317031 是否停止处理？
[原因]
＜STOP＞按钮被按下，询问是否停止处理。
[解决]
要停止处理，请单击[是]；要继续，请单击[否]。
Q317041 可能托盘被取出，是否要收纳 MTS 托盘？
[原因]
在取出 MTS 托盘的状态下，MTS 控制画面中选择了退出。
[解决]
如果单击[是]，则收纳托盘并退出。
如果单击[否]，则取出托盘的状态下退出。
I318001 请取下%s 上的元件。
[原因]
因为吸嘴上有元件，不能放回到 ATC。
[解决]
请手动取下 ?Head 上的元件。
I318011 请连接 MTC。
[原因]
打算要取出 MTC 滑梭，但 MTC 处于脱机状态。
[解决]
请连接 MTC。
故障检修 记录工具
3-78
I318021 请连接 MTS。
[原因]
打算要控制 MTS ，但 MTS 未处于联机状态。
[解决]
请连接 MTS。
I318022 请关闭 MTS 的机箱门。
[原因]
打算拉出 MTS 的托盘，但 MTS 机箱门被打开。
[解决]
请关闭 MTS 机箱门。
I318023 请取下传送轨道上的基板。
[原因]
打算要控制自动幅度的调整，但传送轨道上检测出基板。
[解决]
请搬走传送轨道上的基板。
I318024 请取下摇把。
[原因]
现在的控制状态是自动调整宽度状态。
[解决]
请取下调整宽度用的摇把。
● 其它维护关系
E397001 分配内存发生错误
[原因]
内存不足。
[解决]
请增加可用内存。
E397002 打开共享内存发生错误。
[原因]
不能打开共享内存。
[解决]
关闭系统后，重新启动。
W397011 未结束返回原点。请确认一下搬运轨道上是否存在 Head。请确认一下基板传送是否正常。
[原因]
没有执行返回原点的状态下，轴不能移动，所以有可能 Head 干涉传送通道的检测。
[解决]
请执行返回原点，或者手动搬走传送通道上的 Head，然后检查基板传送状态。
W397012 伺服处于未使用状态。请确认一下搬运轨道上是否没有 Head。请确认一下基板传送是否正常。
[原因]
因为解除伺服锁定，轴不能移动，所以有可能 Head 干涉传送通道的检测。
[解决]
单击＜SERVO FREE＞开关返回伺服锁定状态，或者手动搬走传送通道上的 Head，然后检查基板传送状
态。
E398001 内存分配错误
[原因]
内存不足。
[解决]
请增加可用内存。
E398002 打开共享内存错误
[原因]
不能打开共享内存。
[解决]
关闭系统后，重新启动。
E398011 没有输入字符。
[原因]
没有输入字符。
[解决]
请输入字符。
E398012 输入非法字符。
[原因]
存在非法字符。