CX-1_故障检修.pdf - 第339页
故障检修 记录工具 3-322 E650232 传送基板错误 : STOP 传感器 OFF 超时。 [原因] 将基板搬入出口缓从区时，没能检测到ＳＴＯＰ传感器的ＯＦＦ。 [解决] ① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。 ② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板： 基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。 重量超过 2 公斤的基板。 ③ 如果ＳＴＯＰ传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为ＳＴＯＰ传感器发生故障。…
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重量超过 2 公斤的基板。
③ 等待传感器不变成 OFF(关闭)时，能考虑为等待传感器的故障。请与代理店或本公司技术服务部取
得联系。
④ 如果中心马达不运转时，请与代理店或本公司技术服务部取得联系。
E650222 传送基板错误 : 入口传感器和等待传感器同时被检测时错误。请卸下基板。
[原因]
将把入口缓冲区(在等待传感器上面)的基板搬入到中心站台时,入口传感器检测(ON)到基板。
将把入口缓冲区(在入口传感器上面)的基板搬入到中心站台时,等待传感器检测(ON)到基板。
[解决]
① 入口传感器和等待传感器的安装位置不正确。请调整传感器位置，使两个传感器不要同时启动。
② 前工序的出口传感器位置太近的话，请重新调整出口传感器位置。
③ 要传送的基板不符机器规格。各种基板的最大界限是：M 基板时 330mm，L 基板时 410mm，E 基板时
510mm。
E650223 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板出错，被强行停止。 请取下基板。
[原因]
将把入口缓冲区(在等待传感器上面)的基板搬入到中心站台时,入口传感器检测(ON)到基板。
将把入口缓冲区(在入口传感器上面)的基板搬入到中心站台时,等待传感器检测(ON)到基板。
[解决]
① 入口传感器和等待传感器的安装位置不正确。请调整传感器位置，使两个传感器不要同时启动。
② 前工序的出口传感器位置太近的话，请重新调整出口传感器位置。
③ 要传送的基板不符机器规格。各种基板的最大界限是：M 基板时 330mm，L 基板时 410mm，E 基板时
510mm。
E650224 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板超过时间。
[原因]
因为入口传感器察觉到基板搬入，所以运行基板搬入，可是关闭入口传感器后，过一段时间也不能开启
等待传感器。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果打不开等待传感器时，就可以考虑等待传感器的故障。请与代理店或本公司技术服务部取得联
系。
E650225 传送基板错误 : 入口快门超时。
[原因]
在入口缓冲区进行基板搬入动作时，入口快门一直处于关闭状态。
入口快门传感器的线路有断线的可能性。
[解决]
请打开快门后，运行。
备注) 变为不能用快门控制。
E650226 传送基板错误 : 基板在入口缓冲区～中心缓冲区移动时，发现入口传感器 ON。 请取下基板。
[原因]
把入口缓冲区的基板往中心缓冲区移动时，入口传感器检测出ＯＮ(打开状态)。
[解决]
有可能前工序的ＯＵＴ(出口)传感器位置太靠近，请再调整一下ＯＵＴ(出口)传感器位置。
E650227 传送基板错误 : 入口传感器 OFF 超时。
[原因]
因检测出入口传感器的ＯＮ，所以进行了基板搬入动作，但是过了一定时间也未能检测到入口传感器的
OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果入口传感器没有变成 OFF，就可以认为入口传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务部
取得联系。
E650228 传送基板错误:因为[等待传感器缺口基板对应功能]有效，认为等待传感器上有基板…
[出错信息]
传送基板错误:因为[等待传感器缺口基板对应功能]有效，认为等待传感器上有基板。请把入口传感器
上的基板移到等待传感器上。
[原因]
机器设置的有关传送方面的设置中[等待传感器缺口基板对应功能]为有效状态。因此以前的传送动作留
下来的内部数据中查出等待传感器上有基板的状态。并且入口传感器为 ON 状态的结果，不能进行传送。
[解决]
请把入口传感器上的基板移到等待传感器上，或者取下入口传感器的基板。
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E650232 传送基板错误 : STOP 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到ＳＴＯＰ传感器的ＯＦＦ。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为ＳＴＯＰ传感器发生故障。请与代理店或本公司技
术服务部取得联系。
E650233 传送基板错误 : C.OUT 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果Ｃ．ＯＵＴ传感器没有变成 OFF 时，就认为Ｃ．ＯＵＴ传感器发生故障。请与代理店或本公司
技术服务部取得联系。
E650234 传送基板错误 : 基板从入口区到中心区移动超过时间。
[原因]
将入口缓冲区的基板搬到中心站台时，检测到入口缓冲区的等待传感器的 OFF 后，过了一段时间也ＳＴ
ＯＰ传感器不给变为 ON。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ传感器没有变成ＯＮ时，就认为ＳＴＯＰ传感器发生故障。请与代理店或本公司技术
服务部取得联系。
E650235 传送基板错误 : C.OUT 传感器 ON 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的 ON
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果 C.OUT 传感器没有变成 ON 时，就认为 C.OUT 传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务部
取得联系。
E650236 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 C.OUT 传感器 ON 错误。
[原因]
往中心缓冲区搬入基板时，中心停止传感器为ＯＮ时，检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650237 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 STOP 传感器 ON 错误。
[原因]
往中心缓冲区搬入基板时，中心停止传感器为ＯＮ时，检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650238 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 ON 超时。
[原因]
在固定时的基板吸取动作中，没有检测出真空传感器的 ON。
[解决]
有可能吸取基板后的真空传感器的检测动作时机过早。
请在机器设置上设置真空台。
E650239 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 OFF 超时。
[原因]
在固定时的基板吸取动作中，没能检测出真空传感器ＯＦＦ。
[解决]
有可能吸取基板后的真空传感器的检测动作时机过早。
请在机器设置上设置真空台。
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E650240 传送基板错误 : 真空台使用设置与机器设置不同。
[原因]
在机器设置的使用单元的真空台的设置和生产程序的基板吸取控制的设置不同。
[解决]
请检查机器设置的使用单元的设置，或者生产程序的设置。
E650242 传送基板错误 : STOP1 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到ＳＴＯＰ１传感器的ＯＦＦ。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ１传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为ＳＴＯＰ１传感器发生故障。请与代理店或本公
司技术服务部取得联系。
E650243 传送基板错误 : C.OUT1 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ１传感器的 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果Ｃ．ＯＵＴ１传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为Ｃ．ＯＵＴ１传感器发生故障。请与代理店或
本公司技术服务部取得联系。
E650244 传送基板错误 : 在入口侧中心缓冲区，基板移动超时。
[原因]
将入口缓冲区上的基板将移到入口站台时，检测到入口缓冲区的等待传感器 OFF 后，过了一段时间也Ｓ
ＴＯＰ１传感器不给变为 ON。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ１传感器没有变成 ON 时，就认为ＳＴＯＰ１传感器发生故障。请与代理店或本公司技
术服务部取得联系。
E650245 传送基板错误 : C.OUT1 传感器 ON 超时。
[原因]
往出口侧中心缓冲区的基板传送动作中，Ｃ．ＯＵＴ１传感器没能检测出ＯＮ。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果 C.OUT 传感器没有变成 ON 时，就认为 C.OUT 传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务部
取得联系。
E650246 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 C.OUT1 传感器 ON 错误。
[原因]
在入口侧中心缓冲区的基板传送动作中的中心停止传感器 ON 时，Ｃ．ＯＵＴ１传感器没能检测出ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650247 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 STOP1 传感器 ON 错误。
[原因]
在入口侧中心缓冲区的基板传送动作中的中心挡块为 ON 时，ＳＴＯＰ１传感器检测出了ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650252 传送基板错误 : STOP2 传感器 OFF 超时。
[原因]
往出口中心缓冲区里进行基板搬入动作时，没有检测到ＳＴＯＰ２传感器 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。