CX-1_故障检修.pdf - 第340页
故障检修 记录工具 3-323 E650240 传送基板错误 : 真空台使用设置与机器设置不同。 [原因] 在机器设置的使用单元的真空台的设置和生产程序的基板吸取控制的设置不同。 [解决] 请检查机器设置的使用单元的设置，或者生产程序的设置。 E650242 传送基板错误 : STOP1 传感器 OFF 超时。 [原因] 将基板搬入出口缓从区时，没能检测到ＳＴＯＰ１传感器的ＯＦＦ。 [解决] ① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整…
故障检修 记录工具
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E650232 传送基板错误 : STOP 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到ＳＴＯＰ传感器的ＯＦＦ。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为ＳＴＯＰ传感器发生故障。请与代理店或本公司技
术服务部取得联系。
E650233 传送基板错误 : C.OUT 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果Ｃ．ＯＵＴ传感器没有变成 OFF 时，就认为Ｃ．ＯＵＴ传感器发生故障。请与代理店或本公司
技术服务部取得联系。
E650234 传送基板错误 : 基板从入口区到中心区移动超过时间。
[原因]
将入口缓冲区的基板搬到中心站台时，检测到入口缓冲区的等待传感器的 OFF 后，过了一段时间也ＳＴ
ＯＰ传感器不给变为 ON。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ传感器没有变成ＯＮ时，就认为ＳＴＯＰ传感器发生故障。请与代理店或本公司技术
服务部取得联系。
E650235 传送基板错误 : C.OUT 传感器 ON 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的 ON
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果 C.OUT 传感器没有变成 ON 时，就认为 C.OUT 传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务部
取得联系。
E650236 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 C.OUT 传感器 ON 错误。
[原因]
往中心缓冲区搬入基板时，中心停止传感器为ＯＮ时，检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650237 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 STOP 传感器 ON 错误。
[原因]
往中心缓冲区搬入基板时，中心停止传感器为ＯＮ时，检测到Ｃ．ＯＵＴ传感器的ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650238 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 ON 超时。
[原因]
在固定时的基板吸取动作中，没有检测出真空传感器的 ON。
[解决]
有可能吸取基板后的真空传感器的检测动作时机过早。
请在机器设置上设置真空台。
E650239 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 OFF 超时。
[原因]
在固定时的基板吸取动作中，没能检测出真空传感器ＯＦＦ。
[解决]
有可能吸取基板后的真空传感器的检测动作时机过早。
请在机器设置上设置真空台。
故障检修 记录工具
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E650240 传送基板错误 : 真空台使用设置与机器设置不同。
[原因]
在机器设置的使用单元的真空台的设置和生产程序的基板吸取控制的设置不同。
[解决]
请检查机器设置的使用单元的设置，或者生产程序的设置。
E650242 传送基板错误 : STOP1 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到ＳＴＯＰ１传感器的ＯＦＦ。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ１传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为ＳＴＯＰ１传感器发生故障。请与代理店或本公
司技术服务部取得联系。
E650243 传送基板错误 : C.OUT1 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ１传感器的 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果Ｃ．ＯＵＴ１传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为Ｃ．ＯＵＴ１传感器发生故障。请与代理店或
本公司技术服务部取得联系。
E650244 传送基板错误 : 在入口侧中心缓冲区，基板移动超时。
[原因]
将入口缓冲区上的基板将移到入口站台时，检测到入口缓冲区的等待传感器 OFF 后，过了一段时间也Ｓ
ＴＯＰ１传感器不给变为 ON。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ１传感器没有变成 ON 时，就认为ＳＴＯＰ１传感器发生故障。请与代理店或本公司技
术服务部取得联系。
E650245 传送基板错误 : C.OUT1 传感器 ON 超时。
[原因]
往出口侧中心缓冲区的基板传送动作中，Ｃ．ＯＵＴ１传感器没能检测出ＯＮ。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果 C.OUT 传感器没有变成 ON 时，就认为 C.OUT 传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务部
取得联系。
E650246 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 C.OUT1 传感器 ON 错误。
[原因]
在入口侧中心缓冲区的基板传送动作中的中心停止传感器 ON 时，Ｃ．ＯＵＴ１传感器没能检测出ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650247 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 STOP1 传感器 ON 错误。
[原因]
在入口侧中心缓冲区的基板传送动作中的中心挡块为 ON 时，ＳＴＯＰ１传感器检测出了ＯＮ。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650252 传送基板错误 : STOP2 传感器 OFF 超时。
[原因]
往出口中心缓冲区里进行基板搬入动作时，没有检测到ＳＴＯＰ２传感器 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
故障检修 记录工具
3-324
③ 如果ＳＴＯＰ２传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为ＳＴＯＰ２传感器发生故障。请与代理店或本公
司技术服务部取得联系。
E650253 传送基板错误 : C.OUT2 传感器 OFF 超时。
[原因]
将基板搬入出口缓从区时，没能检测到Ｃ．ＯＵＴ２传感器的 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果Ｃ．ＯＵＴ１传感器没有变成ＯＦＦ时，就认为Ｃ．ＯＵＴ１传感器发生故障。请与代理店或
本公司技术服务部取得联系。
E650254 传送基板错误 : 从入口侧中心缓冲区到出口侧中心缓冲区，基板移动超时。
[原因]
将中心入口缓冲区的基板移到出口站台时，检测出中心入口缓冲区的Ｃ．ＯＵＴ１传感器的 OFF 后，过
了一段时间也ＳＴＯＰ２传感器不给变为 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果ＳＴＯＰ２传感器没有变成ＯＮ时，就认为ＳＴＯＰ２传感器发生故障。请与代理店或本公司
技术服务部取得联系。
E650255 传送基板错误 : C.OUT2 传感器 ON 超时。
[原因]
对 OUT 缓冲区的基板搬入动作中，没能检测到 C.OUT2 传感器的 ON。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果 C.OUT2 传感器没有变成 ON 时，就认为 C.OUT2 传感器发生故障。请与代理店或本公司技术服务
部取得联系。
E650256 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 C.OUT2 传感器 ON 错误。
[原因]
出口侧中心缓冲区的基板搬入动作中，中心挡块为 ON 时，检测到Ｃ．ＯＵＴ２传感器的 ON。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650257 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 STOP2 传感器 ON 错误。
[原因]
出口侧中心缓冲区的基板搬入动作中，中心挡块为 ON 时，检测到ＳＴＯＰ２传感器的 ON。
[解决]
有可能基板的后端检查有问题。如果基板上有微缝，在机器设置的传送设置上，设置传感器的迟延时间。
E650261 传送基板错误 :OUT 缓冲区搬出基板超时。
[原因]
对下游工程做基板搬出动作时，3 秒之内没有检测到 OUT 传感器的 OFF。
[解决]
下游工程的传送速度慢(反流等)的时候，请变更传感器 ON→OFF 监视计时器(机器参数)的值。
E650262 传送基板错误 : OUT 传感器 OFF 超时。
[原因]
对下游工程做基板搬出动作时，没有检测到 OUT 传感器的 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。
② 要传送的基板不符机器规格。以下的情况是规格外的基板：
基板厚度不到 0.4 毫米，或超过 4 毫米。
重量超过 2 公斤的基板。
③ 如果 OUT 传感器没有变成 OFF 时，就认为 OUT 传感器发生故障。 请与代理店或本公司技术服务部
取得联系。
E650264 传送基板错误 : 从中心缓冲区到出口缓冲区，基板移动超时。
[原因]
将中心缓冲区取的基板移到出口侧中心缓冲区时，检测到中心缓冲区的 C-OUT 传感器 OFF 后，过了一段
时间也出口传感器不给变为 OFF。
[解决]
① 有可能传送宽度和基板宽度不吻合，请再调整传送宽度。