智茂分板机中文操作手冊_A1.pdf - 第28页

GAM320A 操作說明書 25 ○ 2 定點修正、 ALL : mark 點製作完畢時,若要修改 mark 點的位置,可用此 功能;按 AL L 則修正所有 ma rk 點位置。 ○ 3 靶標測試:點擊自動測試 MARK 1 與 MARK 2 是否正確。 ○ 4 定點移動:點擊出現選擇 MARK 1 與 MARK 2 移動鍵。在按鍵上顯示台板 進入為左側或右側。 ○ 5 多 mark 點製作:多基板 mark 點矩陣複製。 A. 先行…

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(3)對位(F3):靶標/定點設定、定點修正、靶標測試、定點移動、多 mark
作,如圖 6-2-9
1
靶標/定點設定設定光學靶標點與位置依提示視窗步驟完成 MARK 1
MARK 2 設定需確實用框線將靶標點框住如圖 6-2-10
6-2-9
框線微調鍵
6-2-10
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2
定點修正、ALLmark 點製作完畢時,若要修改 mark 點的位置,可用此
功能;按 ALL 則修正所有 mark 點位置。
3
靶標測試:點擊自動測試 MARK 1 MARK 2 是否正確。
4
定點移動:點擊出現選擇 MARK 1 MARK 2 移動鍵。在按鍵上顯示台板
進入為左側或右側。
5
mark 點製作:多基板 mark 點矩陣複製。
A.先行設定基板一 MARK 1 MARK 2
B.按製作 mark 鍵,出現設定視窗。輸入欲複製之 XY 方向數量,如
6-2-11
C.輸入 XY 值後,按下開始鍵。
D.依說明先行設定水平(X)方向,用滑鼠拉到最後一片之相同 MARK 1
置,靠近十字中心位置,按下確認鍵後自動尋找 MARK 到中心點如圖
6-2-12
6-2-11
6-2-12
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E.接著出現設定垂直( Y )方向確認視窗。
F.用滑鼠拉到最後一片之相同 MARK 1 位置,靠近十字中心位置,如圖
6-2-13
G.按下確認鍵後自動尋找 MARK 到中心點出現完成確認 6-2-14
H.確認後,工作 8 個,點擊“定位移動”右側出現 8 16 MARK 點,
如圖 6-2-15
6-2-13
6-2-14
6-2-15