智茂分板机中文操作手冊_A1.pdf - 第35页
GAM320A 操作說明書 32 D. 定點移動的按鍵時，靶標組數會自動切換到相對應的組數。例如 : 點 選按鍵“右 14 ”時，靶標組數會自動切換到第 7 組，如圖 6-2-25 。 ○ 7 工件顯示窗 ：製作多基板 mark 點矩陣後 ， 顯示有幾個工件 ， 點擊 變更鍵 將恢復單一工件。如圖 6-2-26 。 圖 6-2-25 圖 6-2-26
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e.執行“靶標/定點設定”選擇靶標組數，依序設定每一組的靶標資料
，如圖 6-2-23。
C.行“靶標/定點設定”或“定點修正”或“靶標測試”之前，先選擇要
設定的 Mark 靶標組數，如圖 6-2-24。
圖 6-2-23
圖 6-2-24
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D.定點移動的按鍵時，靶標組數會自動切換到相對應的組數。例如:點
選按鍵“右 14”時，靶標組數會自動切換到第 7 組，如圖 6-2-25。
○
7
工件顯示窗：製作多基板 mark 點矩陣後，顯示有幾個工件，點擊變更鍵
將恢復單一工件。如圖 6-2-26。
圖 6-2-25
圖 6-2-26
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○
8
光學靶標點設定參數：如圖 6-2-27。
A.靶標框線延伸 X 軸：靶點框線確認時 X 方向自動外擴值做為存圖(單位
為畫素)。
B.靶標框線延伸 Y 軸：靶點框線確認時 Y 方向自動外擴值做為存圖(單位
為畫素)。
C.視覺相似度%：靶點比對之門檻。
○
9
板邊定位:
A.到對位(F3)設定內勾選使用板邊定位功能，如圖 6-2-28。
圖 6-2-27
圖 6-2-28