00197546-03_UM_SiplaceCA-Serie_ZH.pdf - 第210页
4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.2 模块总览 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 210 4 图 4.2 - 2 SWS 的供应，前视图 4 (1) 电子单元 前 (2 ) 计算机单元 (3) 变压器 (4) 压力开关 (5) 主电源滤波器 (6) 电磁阀 (7) 保护盖 3 2 1 7 6 5 4
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.2 模块总览
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4.2 模块总览
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图 4.2 - 1 SWS 总览
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(1) 夹持器 (2) 倒装单元
(3) 可选件 （晶粒贴附单元或线性浸渍单元）
的安装位置
(4) 晶粒推送器
(5) 供应单元 (6) X 单元
(7) 晶圆盘升降机
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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.2 模块总览 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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图 4.2 - 2 SWS 的供应，前视图
4
(1) 电子单元 前 (2) 计算机单元
(3) 变压器 (4) 压力开关
(5) 主电源滤波器 (6) 电磁阀
(7) 保护盖
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.2 模块总览
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图 4.2 - 3 SWS 的模块总览
(1) 夹持单元 (2) 晶圆相机
(3) 倒装单元 (4) 晶圆支撑件
(5) 导轨
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