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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 1 2 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 247 将传感器安装在 12" 晶圆支撑上 4 使用装配支架将两个传感器固定 在晶圆支撑上。 4 图 4.5 - 13 晶圆支撑 - 安装传 感器 重新连接传感器连接。 使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑 上。…
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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将传感器安装在 12" 的装配支架上 4
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图 4.5 - 11 晶圆支撑 - 传感器 1
(1) 装配支架
(2) 安装在装配支架上的传感器
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图 4.5 - 12 晶圆支撑 - 传感器 2
(1) 装配支架
(2) 安装在装配支架上的传感器
将两个传感器 (2) 安装在从 12" 改装套件中取出的装配支架 (1) 上。
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
247
将传感器安装在 12" 晶圆支撑上 4
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
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图 4.5 - 13 晶圆支撑 - 安装传感器
重新连接传感器连接。
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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将挡块安装在夹具上 4
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图 4.5 - 14 晶圆支撑 - 将挡块安装在夹具上
将 12" 改装套件中取出的挡块 (2) 安装在夹具 (1) 上。
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