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4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更 新 2014 年 12 月版 简体中文 252 4.5.7.4 12" 转换至 8 的差异 应将传感器从晶圆支撑上拆下并安装 到 8" 膨胀板上。 请参阅 请参阅第 245 页上的 " 晶圆支撑 - 已 取下的 8" 行程环 …
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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安装下按装置板 4
图 4.5 - 17 晶圆支撑 - 取下下按装置板
将起吊活塞与辅助工具 (2) 对齐，这样开口就会朝向外口。
将从 12" 改装套件中取出的下按装置板放置于晶圆支撑中。
将圆锥形固定盘 (3) 插入到孔中。
使用螺钉将下按装置板拧上，但不要过紧。
将辅助工具 (4) 插入到开口中并用内部的起吊活塞固定就位。
将两个下按装置板 (5) 上的全部 4 个螺钉 (1) 拧紧。
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 5 设置与调试
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 5.1 尺寸和重量
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5 设置与调试
5.1 尺寸和重量
关于贴片机尺寸和重量的详情请参看第 3.4 部分，第 124 页。
5.2 贴片机的出厂配置和运输
5.2.1 装运包装
如在欧洲之内运输，贴片机被装放在一个木质货盘上并用塑料薄膜包裹。如在欧洲之外，设备被
装放在一个木质板条箱里，然后放在一个稳定的木质货盘上。
5.2.1.1 装运包装的尺寸
木质运输板条箱的尺寸如下：
长 2404 mm
宽 2790 mm
高 1600 mm 5
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图 5.2 - 1 运输板条箱 - 尺寸以毫米为单位
(A) 叉车插入点