SI-F130AI_1st_CS.pdf.pdf - 第185页
操作篇 5. 手动操作 SI-F130AI 5-15 5.2 基板搬送操作 2 5.2.1 基板搬送轨道的操作 ( ) �…
操作篇
5. 手动操作
5-14
SI-F130AI
5.1.6 轴的伺服操作
[ 概要 ]
X Y H FF FR RT RN
[ 操作顺序 ]
[1]
关闭全部服务器轴时，点击 伺服器 ( 服务器 ) 框内的 關閉 ( 关闭 ) 钮。
[2] 开启全部服务器轴时，点击 開 ( 开启 ) 钮。
图
5.1.6
軸操作畫面－ 伺服器開關 / 開
(
轴操作画面－ 服务器开关
/
开启
)
钮
口
啟
口
啟
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-15
5.2 基板搬送操作
2
5.2.1 基板搬送轨道的操作
( )
5.2.1.1 搬入轨道运转
5.2.1.2 装着轨道运转
5.2.1.3 搬出轨道运转
5.2.1.4 固定板装置操作
5.2.1.5 基准针操作
5.2.1.6 停止器操作
5.2.1.7 轨道宽度的调整
5.2.1.8 基板搬送状态的表示
5.2.1.9 排出器的移动
5.2.1.10 排出器的操作 （上升 / 下降）
操作篇
5. 手动操作
5-16
SI-F130AI
5.2.2 基板操作
5.2.2.1 基板定位操作
5.2.2.2 基板搬入、搬出操作
5.2.1 基板搬送轨道的操作
[ 概要 ]
[ 操作顺序 ]
手動操作 ( ) 基板搬送 ( )
基板的进行方向在
SI-F130AI
有左流向 （→）及右流向 （←）
2
种规格。依规格会出现不同
画面。
图
5.2.1
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
画面
基板搬送 ( )
注意 :