SI-F130AI_1st_CS.pdf.pdf - 第189页

操作篇 5. 手动操作 SI-F130AI 5-19 5.2.1. 6 停止 器操作 󰑔󱍙󲖚󱐕󱱃 ( 󲲰󱟄󳐷 ) 󰆢󱍙󰠷 使停止器上升时 󰶎󲖚󱱃󰊖󱍙 停止器上昇 ( 󰠷 ) 󳆃󰠷󰠷 󳌥 使停止器下降时 󰶎󲖚󱱃󰊖󱍙 停止器下降 ( 󰠷󳌢 ) 󳆃󰠷󳌢󰠷 󳌥 提示 󰏞󰠷󱍙󲔽󱘏󱽇 :…

100%1 / 750
操作篇
5. 手动操作
5-18
SI-F130AI
5.2.1.3
搬出轨道运转 (使用 搬出軌道運轉 ( 搬出轨道运转 ) 框)
󲲥󲱁󲳴󱍙󲳞󰋋󰶎
搬出軌道運轉 ( 󰄁󲰽󲴨󲲥󲱁 ) 󰔛󱍙 高速 ( 󳞭󲳴 ) 低速 ( 󲳴 )
󳆃
在搬出方向
( 正方向 ) 使轨道运转时
󰶎
搬出軌道運轉 ( 󰄁󲰽󲴨󲲥󲱁 ) 󰔛󱍙 󳆃󰄁󲰽󲴨󲲥󲱁
在搬入方向
( 反方向 ) 使轨道运转时
󰶎
搬出軌道運轉 ( 󰄁󲰽󲴨󲲥󲱁 ) 󰔛󱍙 󳆃󰄁󲰽󲴨󲲥󲱁
停止轨道运转时
󰶎
搬出軌道運轉 ( 󰄁󲰽󲴨󲲥󲱁 ) 󰔛󱍙 󳆃󰄁󲰽󲴨󰠷󲲥󲱁
提示
󲰽󲴨󱍙󲔽󱘏󳕱󱽇
󱯔󱽇󰠸󰊎 󰄁󰊎󲲥󲱁
󳮙󱽇󲳛󰊎 󰄁󰊎󲲥󲱁
󱍒󱽇󰠷
5.2.1.4 定板装置操作
󲖚󱐕󱱃󱓀󰠸󰑔󰏇󱍙󰑔󲖚󱱃󱍙󰆢
使固定板装置上升
󰶎󲖚󱱃󰊖󱍙
固定板上昇 ( 󰑔 ) 󳆃󰑔󲖚󱱃󰠷󱟄
使固定板装置下降
󰶎󲖚󱱃󰊖󱍙
固定板下降 ( 󰑔󳌢 ) 󳆃󰑔󲖚󱱃󳌢󰠷󳌢󱟄
提示
󰏞󰑔󲖚󱱃󱍙󲔽󱘏󱽇
:
󳮙󱽇
󱍒󱽇󳌢
5.2.1.5 准针操作
󰆢󰑔󱱃󱍙󳅝
使基准针上升时
󰶎󲖚󱱃󰊖󱍙
基準梢上昇 ( 󳅝 ) 󳆃󳅝󰠷󳌥
使基准针下降时
󰶎󲖚󱱃󰊖󱍙
基準梢下降 ( 󳅝󳌢 ) 󳆃󳅝󳌢󰠷󳌥
提示
󰏞󳅝󱍙󲔽󱘏󱽇
:
󳮙󱽇
󱍒󱽇󳌢
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-19
5.2.1.6 停止器操作
󰑔󱍙󲖚󱐕󱱃
( 󲲰󱟄󳐷 ) 󰆢󱍙󰠷
使停止器上升时
󰶎󲖚󱱃󰊖󱍙
停止器上昇 ( 󰠷 ) 󳆃󰠷󰠷󳌥
使停止器下降时
󰶎󲖚󱱃󰊖󱍙
停止器下降 ( 󰠷󳌢 ) 󳆃󰠷󳌢󰠷󳌥
提示
󰏞󰠷󱍙󲔽󱘏󱽇
:
󳮙󱽇
󱍒󱽇󳌢
操作篇
5. 手动操作
5-20
SI-F130AI
5.2.1.7
轨道宽度调整
󲰽󲴨󱍙󲣘󰉉󲣌󱕃󲡹󲰽󲴨󰊵󰑔󲰽󲴨󰏞󰑔󰋋󲣌󲶽󳌹
󳕏󰶎
手動操作 ( 󰆢 ) 󱈐󳐷 基板搬送 ( 󰑔󰄁󲳖 ) 󰓜󱡓󰶎󱈐󳐷󱍙󰐁󰉜󰔛
軌道寬度調整 ( 󲰽󲴨󲣘󰉉 ) 󳆃󲔽󱘏 軌道寬度調整 ( 󲰽󲴨󲣘󰉉 ) 󲢲󰔛 1
5.2.1.7-1
軌道寬度調整
(
轨道宽度调
)
画面
󰆢󳐷󰑔󱍙 ORG 󳈃󲰽󲴨󱻈󰶎󱍙󱱃
在执行轨道宽度调整操作的前,有时轨道宽度必须回复到原点位置。
󱈆 軌道寬度調整 ( 󲰽󲴨󲣘󰉉 ) 󲢲󰔛󱍙 移動模式 ( 󱛐󰛶 ) 󰔛󰶎 絕對座標移動
(
󱮲󰓜󱛐 ) 相對座標移動 ( 󱏍󰓜󱛐 ) 微調動作移動 ( 󲣘󱛐 ) 󰏰
󱍙󳆃
·所谓
絕對座標移動
(
绝对坐标移
)
是将轨道的基准点设为原点,由原点移动至表示的目
宽度
,
现在位置无论在何处,都可移动至目标的宽度。
·所谓
相對座標移動
(
相对坐标移
)
是将现在的宽度设为起点,只移动指定的值。即使相
移动值,若改变现在的宽度时,所得到轨道的宽度也不相同。
·所谓
微調動作移動
(
微调动作移
)
是使用游标执行移动
,
按游标并立即放开时会立即微
动,连续按
,
则连续移动。
·
軌道寬度絕對位置
(
轨道宽度绝对位置
)
的本文框中,只能输入数值,无法变更轨道宽度。
依下列步骤
START
钮,执行轨道移动。
󱮲󰓜󱛐󱏍󰓜󱛐󱍙󲢲󰔛󲱨󲲓󱱃󱛐󲺤󱍙󰉅 ( 󲳅 2) 󱛐
󲱨󱍙󱍙󲰽󲴨󲔽󱘏󲰽󲴨󱍙󱾺
基板搬送 ( 󰑔󰄁󲳖 ) 󰓜󱡓󱈐󳐷󲔽
󱘏󱍙󲰽󲴨󱍙󰏞󲣄󰋋󲣌󰸼󲔽󱘏
基板搬送 ( 󰑔󰄁󲳖 ) 󰓜󱡓󱈐󳐷󳌚󱱃
注意 :
注意 :
2
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