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操作篇 5. 手动操作 SI-F130AI 5-19 5.2.1. 6 停止 器操作 ( ) 使停止器上升时 停止器上昇 ( ) 使停止器下降时 停止器下降 ( ) 提示 :…

操作篇
5. 手动操作
5-18
SI-F130AI
5.2.1.3
搬出轨道运转 (使用 搬出軌道運轉 ( 搬出轨道运转 ) 框)
搬出軌道運轉 ( ) 高速 ( ) 低速 ( )
在搬出方向
( 正方向 ) 使轨道运转时
搬出軌道運轉 ( )
在搬入方向
( 反方向 ) 使轨道运转时
搬出軌道運轉 ( )
停止轨道运转时
搬出軌道運轉 ( )
提示
5.2.1.4 固定板装置操作
使固定板装置上升时
固定板上昇 ( )
使固定板装置下降时
固定板下降 ( )
提示
:
5.2.1.5 基准针操作
使基准针上升时
基準梢上昇 ( )
使基准针下降时
基準梢下降 ( )
提示
:

操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-19
5.2.1.6 停止器操作
( )
使停止器上升时
停止器上昇 ( )
使停止器下降时
停止器下降 ( )
提示
:

操作篇
5. 手动操作
5-20
SI-F130AI
5.2.1.7
轨道宽度调整
手動操作 ( ) 基板搬送 ( )
軌道寬度調整 ( ) 軌道寬度調整 ( ) 1
图
5.2.1.7-1
軌道寬度調整
(
轨道宽度调整
)
画面
ORG
在执行轨道宽度调整操作的前,有时轨道宽度必须回复到原点位置。
軌道寬度調整 ( ) 移動模式 ( ) 絕對座標移動
(
) 相對座標移動 ( ) 微調動作移動 ( )
·所谓
絕對座標移動
(
绝对坐标移动
)
是将轨道的基准点设为原点,由原点移动至表示的目标
宽度
,
现在位置无论在何处,都可移动至目标的宽度。
·所谓
相對座標移動
(
相对坐标移动
)
是将现在的宽度设为起点,只移动指定的值。即使相同
移动值,若改变现在的宽度时,所得到轨道的宽度也不相同。
·所谓
微調動作移動
(
微调动作移动
)
是使用游标执行移动
,
按游标并立即放开时会立即微
动,连续按时
,
则连续移动。
·
軌道寬度絕對位置
(
轨道宽度绝对位置
)
的本文框中,只能输入数值,无法变更轨道宽度。
依下列步骤按
START
钮,执行轨道移动。
( 2)
基板搬送 ( )
基板搬送 ( )
注意 :
注意 :
2
1